[实用新型]石英坩埚清洗吹干装置

说明书

本实用新型涉及机械技术领域。石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于，包括一用于输送石英坩埚的输送架，输送架上安装有带动坩埚运动的输送辊组件；还包括清洗室，清洗室安装在输送架上，且输送架上的部分输送辊组件设置在清洗室内部，清洗室的前后两端分别开设有进料口以及出料口，清洗室的前侧以及后侧均安装有前侧活动门以及后侧活动门；清洗室的底部开设有一排水孔；还包括清洗组件，清洗组件包括用于顶起石英坩埚并带动石英坩埚旋转的顶升旋转机构；顶升旋转机构包括一支撑平台以及用于带动支撑平台运动的动力组件。本专利通过清洗室，工作时与外界隔绝，避免了坩埚清洗吹干时喷射出高压水和高压空气对生产环境造成影响。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体是石英坩埚清洗装置。

背景技术

石英坩埚是半导体制造领域中的重要器件之一，其品质好坏将直接影响半导体器件的产能和收率，石英坩埚的清洗也是非常重要的。

在石英坩埚的制备过程中，倒角后，往往会通过水枪冲洗粉尘后，再用气枪吹干，然后再由人工搬运到下一道工序。随着坩埚尺寸的进一步加大，坩埚的重量达到了90公斤，人力搬运已经满足不了生产需求，且人工成本一直在升高，如何实现自动化清洗以及吹干是坩埚清洗吹干一体机设计的方向之一。

CN201010264274.3公开了一种石英坩埚清洗烘干专用一体机，包括转盘、活动门、内喷头、外喷头、储酸槽、排酸管、进酸管、排水管、进水管和烘干设备，所述一体机上安装有活动门，一体机内设置有转盘，转盘的中心位置安装有内喷头，所述外喷头通过支架安装在转盘的上方，所述内喷头和外喷头通过排酸管和进酸管与储酸槽相通，内喷头和外喷头通过排水管和进水管与储水设备相通，所述一体机内还设置有烘干设备。

上述专利，虽然可以实现对石英坩埚的清洗以及烘干，但是无法实现自动上下料，坩埚摆入以及取出均需要人工操作，不适用于重量大的坩埚，而且，上述专利中对于坩埚的干燥需要烘干设备进行烘干，针对于大体积的坩埚，无法实现坩埚内外侧的同步快速干燥。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供石英坩埚清洗吹干装置，以解决以上至少一个技术问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于，包括一用于输送石英坩埚的输送架，所述输送架上安装有带动坩埚运动的输送辊组件；

还包括清洗室，所述清洗室安装在所述输送架上，且所述输送架上的部分输送辊设置在清洗室内部，所述清洗室的前后两端分别开设有进料口以及出料口，所述清洗室的前侧以及后侧均安装有用于封闭进料口的前侧活动门以及用于封闭出料口的后侧活动门；

所述清洗室的底部开设有一排水孔；

还包括清洗组件，所述清洗组件包括用于顶起石英坩埚并带动石英坩埚旋转的顶升旋转机构、用于向石英坩埚的内腔输送高压水以及高压气的内清洗管路、用于向石英坩埚的内腔输送高压水以及高压气的外清洗管路，所述内清洗管路以及外清洗管路均安装在清洗室内；

所述顶升旋转机构包括一支撑平台以及用于带动支撑平台运动的动力组件，所述支撑平台安装在所述清洗室内，所述动力组件位于所述清洗室外；

所述输送辊组件上设有用于支撑平台升降运动途径的间隙。

本专利通过清洗室，工作时与外界隔绝，避免了坩埚清洗吹干时喷射出高压水和高压空气对生产环境造成影响。

本专利通过清洗组件便于实现坩埚内外清洗以及吹干，减少清洗死角。

进一步优选地，所述动力组件包括支撑座、顶升气缸、导向轴、电机、旋转驱动齿轮、旋转从动齿轮以及旋转轴；

所述支撑座上安装有所述电机，所述电机的动力输出轴与所述旋转驱动齿轮传动连接，所述旋转驱动齿轮与所述旋转从动齿轮啮合，所述旋转从动齿轮安装在所述旋转轴的外围，所述旋转轴的顶部与所述支撑平台相连；