[实用新型]石英坩埚清洗吹干装置

权利要求书

1.石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于，包括一用于输送石英坩埚的输送架，所述输送架上安装有带动石英坩埚运动的输送辊组件；

还包括清洗室，所述清洗室安装在所述输送架上，且所述输送架上的部分输送辊组件设置在清洗室内部，所述清洗室的前后两端分别开设有进料口以及出料口，所述清洗室的前侧以及后侧均安装有用于封闭进料口的前侧活动门以及用于封闭出料口的后侧活动门；

所述清洗室的底部开设有一排水孔；

还包括清洗组件，所述清洗组件包括用于顶起石英坩埚并带动石英坩埚旋转的顶升旋转机构、用于向石英坩埚的内腔输送高压水以及高压气的内清洗管路、用于向石英坩埚的内腔输送高压水以及高压气的外清洗管路，所述内清洗管路以及外清洗管路均安装在清洗室内；

所述顶升旋转机构包括一支撑平台以及用于带动支撑平台运动的动力组件，所述支撑平台安装在所述清洗室内，所述动力组件位于所述清洗室外；

所述输送辊组件上设有用于支撑平台升降运动途径的间隙。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于：所述动力组件包括支撑座、顶升气缸、导向轴、电机、旋转驱动齿轮、旋转从动齿轮以及旋转轴；

所述支撑座上安装有所述电机，所述电机的动力输出轴与所述旋转驱动齿轮传动连接，所述旋转驱动齿轮与所述旋转从动齿轮啮合，所述旋转从动齿轮安装在所述旋转轴的外围，所述旋转轴的中央转动连接有所述内清洗管路，且所述内清洗管路的顶部伸出所述旋转轴，并安装有喷洒头；

所述支撑座通过轴承与所述旋转轴铰接，

所述顶升气缸的活塞杆与所述支撑座传动连接；

所述支撑座上设有用于沿着导向轴竖直滑动的引导孔。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于：所述外清洗管路固定在所述清洗室的左侧或者右侧，且所述外清洗管路上沿着轴向开设有出水孔，所述外清洗管路的顶部位于所述清洗室中央。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于：所述清洗室包括前后左右四侧封闭的矩形框架；

所述清洗室还包括位于所述输送辊组件下方的水槽，所述水槽的顶部与所述矩形框架对接导通构成所述清洗室。

5.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于：所述输送辊组件包括输送辊；

所述输送辊的端部安装有用于带动输送辊转动的链轮；所述链轮位于所述清洗室的外围。

6.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于：所述输送架的底部安装有调节支撑脚。

7.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于：所述清洗组件包括一供水主管路以及供气主管路；

所述供水主管路上沿着导流方向依次安装有水路手动截止阀以及水路电磁阀，所述供水主管路出口连接有两个水路分支，两个水路分支分别为第一分支水路以及第二分支水路，所述第一分支水路通过第一单向阀与内清洗管路导通，所述第二分支水路通过第二单向阀与外清洗管路导通；

所述供气主管路上沿着导流方向依次安装有气路手动截止阀以及气路电磁阀，所述供气主管路出口连接有两个气路分支，两个气路分支分别为第一分支气路以及第二分支气路，所述第一分支气路通过第三单向阀与内清洗管路导通，所述第二分支气路通过第四单向阀与外清洗管路导通。

8.根据权利要求1所述的石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于：所述输送辊组件包括位于清洗室外的外侧输送辊以及位于清洗室内的内侧输送辊；

所述内侧输送辊包括左右设置的左侧输送辊组以及右侧输送辊组，所述左侧输送辊组以及所述右侧输送辊组均包括从前至后排布的至少三个输送辊；

所述左侧输送辊组与右侧输送辊组之间的间隙、左侧输送辊组中相邻输送辊之间的间隙以及右侧输送辊组中相邻输送辊之间的间隙为用于支撑平台升降运动途径的间隙。