[实用新型]阴极头、制作阴极头的模具以及等离子发生器

权利要求书

1.一种阴极头，其特征在于，包括材料棒(20)和中空的壳体(30)，所述材料棒(20)穿设于所述壳体(30)的端部，所述材料棒(20)的第一端处于所述壳体(30)的内部，所述材料棒(20)处于所述壳体(30)内部的部分的外周设有散热部(40)，所述散热部(40)的外周与所述壳体(30)的内壁之间形成间隙(50)。

2.根据权利要求1所述的阴极头，其特征在于，所述散热部(40)沿着朝向所述材料棒(20)的第一端的方向截面积不变或逐渐减小。

3.根据权利要求2所述的阴极头，其特征在于，所述散热部(40)呈半球状、圆台状或圆柱状。

4.根据权利要求1所述的阴极头，其特征在于，所述壳体(30)的内壁沿着远离所述材料棒(20)的方向直径逐渐增加。

5.一种用于制作阴极头的模具，其特征在于，包括模具主体(60)、第一压头(70)和第二压头(80)，所述模具主体(60)的中部具有通孔(61)，所述第一压头(70)和所述第二压头(80)均设置在所述通孔(61)内，所述第一压头(70)包括压头基座(72)和凸模(73)，所述凸模(73)靠近所述第二压头(80)设置；

所述凸模(73)的端部具有与权利要求1至4任一项所述阴极头(10)的散热部(40)的形状相匹配的第一型腔(75)；

所述凸模(73)与所述第二压头(80)和所述通孔(61)的内壁之间形成与权利要求1至4任一项所述阴极头(10)的壳体(30)的形状相匹配的第二型腔(71)。

6.根据权利要求5所述的用于制作阴极头的模具，其特征在于，所述模具主体(60)的侧壁设有用于插入热电偶的安装孔(62)。

7.根据权利要求5所述的用于制作阴极头的模具，其特征在于，所述通孔(61)的内壁上设有脱模层(63)。

8.根据权利要求5所述的用于制作阴极头的模具，其特征在于，所述模具主体(60)的外周设有外壳(90)，所述模具主体(60)与所述外壳(90)之间设有缓冲层(91)。

9.根据权利要求8所述的用于制作阴极头的模具，其特征在于，所述外壳(90)的一端设有开口，所述模具主体(60)靠近所述第一压头(70)的一端通过所述开口插入到所述外壳(90)的内部，所述外壳(90)的底板(93)与所述通孔(61)相对应的位置设有避让孔(92)，所述避让孔(92)的直径大于或等于所述通孔(61)的直径。

10.一种等离子发生器，其特征在于，包括权利要求1至4任一项所述的阴极头(10)。