[实用新型]长寿命型键合夹具

说明书

本申请涉及键合夹具的领域，尤其是涉及一种长寿命型键合夹具，包括夹板，夹板上开有用于放置半导体材料的容纳腔，夹板上设有用于泄压的泄压组件。本申请具有增长夹具使用寿命的优点。

技术领域

本申请涉及键合夹具的领域，尤其是涉及一种长寿命型键合夹具。

背景技术

键合是将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理后，在一定条件下直接结合为一体。

键合的过程一般是将两块经过处理后的半导体材料放置到两块夹板之间，然后在两块夹板上分别施加一个夹紧半导体材料的夹紧力，两块半导体材料在夹紧力的作用下结合为一体。

由于半导体材料的键合需要在夹板上施加一个作用力，当作用力作用夹板时，夹板的内部会产生应力，夹板在长时间受到应力的作用下，会逐渐产生永久性累积损伤，当循环一定次数后，夹板就会产生裂纹或者发生断裂，导致夹板的使用寿命较短，存在明显不足。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有夹板长时间受应力的作用下发生损坏的缺陷。

实用新型内容

为了改善夹板长时间受应力的作用下会发生损坏的问题，本申请提供一种长寿命型键合夹具。

本申请提供的一种长寿命型键合夹具采用如下的技术方案：

一种长寿命型键合夹具，包括夹板，所述夹板上开有用于放置半导体材料的容纳腔，所述夹板上设有用于泄压的泄压组件。

通过采用上述技术方案，在夹板上设置泄压组件，从而减小了夹板内应力对夹板造成损坏的可能性。本申请具有增长夹具使用寿命的优点。

优选的，所述泄压组件包括夹板上开设的两个呈长条型的泄压槽一，所述泄压槽一的长度方向与容纳腔的长度方向平行，两个泄压槽一关于容纳腔对称设置，所述泄压槽一靠近容纳腔，所述夹板上开有引导槽，所述引导槽的端部与泄压槽一相通。

通过采用上述技术方案，当作用力作用夹板时，夹板的内部产生应力，应力传播到引导槽内后，沿着引导槽的长度方向进行传播，由于泄压槽一的设置，使得引导槽的端部断开，以此当应力传播到引导槽的端部后缺少继续传播的介质，应力就会逐渐自然消散，减小了夹板内应力的量，以此有利于减小应力对夹板造成损坏的可能性，增长了夹板的使用寿命。

优选的，所述引导槽垂直于泄压槽一。

通过采用上述技术方案，当应力传播到引导槽内后，能够以最短的路径传播到引导槽的端部进行消散，有利于提高引导槽的引导效果。

优选的，所述泄压槽一的端部沿着远离容纳腔的方向开有泄压槽二，所述泄压槽二垂直于泄压槽一。

通过采用上述技术方案，夹板内会有部分的应力从泄压槽一和夹板的侧壁之间穿过，设置泄压槽二，当应力从泄压槽一的端部和夹板的侧壁之间穿过时，会有部分应力通过泄压槽二的内侧壁自然消散，以此减少了应力在整个夹板上传播的量。

优选的，所述泄压槽二沿其长度方向呈波浪形设置。

通过采用上述技术方案，波浪形设置增大了泄压槽二内侧壁的面积，以此使得能够有更多的应力通过泄压槽二进行消散，提高了泄压槽二消散应力的效果。

优选的，所述泄压槽二靠近夹板垂直于容纳腔长度方向的侧壁。

通过采用上述技术方案，减小了应力从泄压槽一的端部和夹板侧壁之间穿过的传播路径，减小了应力在整个夹板上传播的可能性。

优选的，所述引导槽沿着容纳腔的长度方向设有若干个，所述夹板上开有通槽，所述通槽与若干个引导槽分别相通。