[实用新型]长寿命型键合夹具有效

申请号：	202021476878.X	申请日：	2020-07-23
公开（公告）号：	CN212434598U	公开（公告）日：	2021-01-29
发明（设计）人：	潘斐	申请（专利权）人：	无锡芯智光精密科技有限公司
主分类号：	H01L21/687	分类号：	H01L21/687;H01L21/60;H01L21/50
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地址：	214000 江苏省无***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	寿命型键合夹具
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【权利要求书】：

1.一种长寿命型键合夹具，包括夹板(1)，其特征在于：所述夹板(1)上开有用于放置半导体材料的容纳腔(2)，所述夹板(1)上设有用于泄压的泄压组件。

2.根据权利要求1所述的长寿命型键合夹具，其特征在于：所述泄压组件包括夹板(1)上开设的两个呈长条型的泄压槽一(3)，所述泄压槽一(3)的长度方向与容纳腔(2)的长度方向平行，两个泄压槽一(3)关于容纳腔(2)对称设置，所述泄压槽一(3)靠近容纳腔(2)，所述夹板(1)上开有引导槽(4)，所述引导槽(4)的端部与泄压槽一(3)相通。

3.根据权利要求2所述的长寿命型键合夹具，其特征在于：所述引导槽(4)垂直于泄压槽一(3)。

4.根据权利要求2所述的长寿命型键合夹具，其特征在于：所述泄压槽一(3)的端部沿着远离容纳腔(2)的方向开有泄压槽二(5)，所述泄压槽二(5)垂直于泄压槽一(3)。

5.根据权利要求4所述的长寿命型键合夹具，其特征在于：所述泄压槽二(5)沿其长度方向呈波浪形设置。

6.根据权利要求4所述的长寿命型键合夹具，其特征在于：所述泄压槽二(5)靠近夹板(1)垂直于容纳腔(2)长度方向的侧壁。

7.根据权利要求2所述的长寿命型键合夹具，其特征在于：所述引导槽(4)沿着容纳腔(2)的长度方向设有若干个，所述夹板(1)上开有通槽(6)，所述通槽(6)与若干个引导槽(4)分别相通。

8.根据权利要求1所述的长寿命型键合夹具，其特征在于：所述泄压组件包括固定连接在夹板(1)用于夹紧半导体材料另一侧的弹性垫(7)。

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