[实用新型]一种真空镀膜机用腔体后板有效

专利信息
申请号: 202021461763.3 申请日: 2020-07-23
公开(公告)号: CN212894937U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 周基 申请(专利权)人: 福州五诚精密机械有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350000 福建省福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 机用腔体后板
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜机用腔体后板,包括耐高温陶瓷层(1),其特征在于:所述耐高温陶瓷层(1)的左侧固定连接有第一金属板层(2),所述第一金属板层(2)的左侧固定连接有连接柱(3),所述连接柱(3)的左侧固定连接有第二金属板层(4),所述第二金属板层(4)的左侧固定连接有隔热棉层(5),所述第二金属板层(4)的右侧开设有第一连通孔(6),所述隔热棉层(5)的左侧开设有第二连通孔(7),所述第一金属板层(2)与第二金属板层(4)的顶部之间和底部之间均固定连接有端板(8),所述隔热棉层(5)的左侧固定连接有透气罩(9),所述透气罩(9)的左侧开设有透气孔(10),所述透气孔(10)的内侧插接有塞子(11),所述透气罩(9)的顶部开设有转孔(12),所述转孔(12)的内侧转动连接有转杆(13),所述转杆(13)的顶部固定连接有旋钮(14),所述转杆(13)的底部固定连接有阀体(15)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用腔体后板,其特征在于:所述耐高温陶瓷层(1)的厚度至少为一厘米,所述第一金属板层(2)和第二金属板层(4)均为不锈钢金属板。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用腔体后板,其特征在于:所述隔热棉层(5)为耐高温隔热棉,且隔热棉层(5)的厚度至少为两厘米,所述连接柱(3)的长度至少为三厘米。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用腔体后板,其特征在于:所述第一连通孔(6)与第二连通孔(7)的数量均为三个,且三个第一连通孔(6)分别与三个第二连通孔(7)相连通。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用腔体后板,其特征在于:所述阀体(15)位于透气罩(9)的内侧,且阀体(15)与透气罩(9)转动连接,所述转杆(13)的外侧固定连接有密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用腔体后板,其特征在于:所述旋钮(14)位于透气罩(9)的外部,所述塞子(11)为耐高温橡胶塞,所述端板(8)通过螺栓与第一金属板层(2)、第二金属板层(4)和耐高温陶瓷层(1)均固定连接。

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