[实用新型]一种用于半导体设备的四氟带料轮有效

专利信息
申请号: 202021461572.7 申请日: 2020-07-22
公开(公告)号: CN212182290U 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 毛春辉 申请(专利权)人: 阳信金鑫电子有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 代理人: 王倩倩
地址: 251800 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 半导体设备 四氟带料轮
【说明书】:

实用新型公开了一种用于半导体设备的四氟带料轮,涉及半导体设备领域,包括安装座,所述安装座的内部设置有贯穿至安装座底部的一号连接杆,且一号连接杆的顶端位于安装座的内部设置有转盘,所述一号连接杆的底端位于安装座的外侧设置有转杆,所述转盘的底端设置有卡齿,所述安装座的内壁设置有齿轮,且齿轮的一端设置有丝杆,所述丝杆的外侧位于一号连接杆的上方设置有套管。本实用新型设置弹簧、弧形卡块、拉环、连接板,可通过向两侧拉动拉环,拉环便会通过二号连接杆带动弧形卡块向两侧进行移动,弧形卡块便会脱离底座,由此便可将防护板取下,从而解决无法对带料轮的表面进行单独更换的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域,具体为一种用于半导体设备的四氟带料轮。

背景技术

带料轮是对物料进行传递的装置,通过轮子的转动使物料沿着轮子表面进行移动,从而将物料传递至所需位置处。

但是一般的带料轮是通过限位块直接套在安装座上进行安装,但此安装方法仅能限制带料轮左右的转动,无法对带料轮上下移动进行限制,从而导致稳定性较差;且当带料轮表面受到损坏时必须对这个带料轮进行更换,从而造成了资源上的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于:为了解决无法增加带料轮的稳定性、无法对带料轮的表面进行单独更换的问题,提供一种用于半导体设备的四氟带料轮。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于半导体设备的四氟带料轮,包括安装座,所述安装座的内部设置有贯穿至安装座底部的一号连接杆,且一号连接杆的顶端位于安装座的内部设置有转盘,所述一号连接杆的底端位于安装座的外侧设置有转杆,所述转盘的底端设置有卡齿,所述安装座的内壁设置有齿轮,且齿轮的一端设置有丝杆,所述丝杆的外侧位于一号连接杆的上方设置有套管,所述套管的外侧设置有滑块,所述安装座的顶端设置有底座,且底座的顶端设置有防护板,所述防护板的底端位于底座的外侧设置有连接板,所述连接板的外侧设置有贯穿至连接板内侧的二号连接杆,所述二号连接杆的一端位于连接板的外侧设置有拉环,且二号连接杆的另一端位于底座的内部固定有弧形卡块,所述连接板的内部位于二号连接杆的外侧设置有弹簧。

优选地,所述底座的内部设置有与套管相匹配的凹槽。

优选地,所述套管的内侧设置有与丝杆外侧相契合的内螺纹,所述安装座的顶端设置有与滑块相契合的滑槽。

优选地,所述卡齿与齿轮的外侧相啮合,所述一号连接杆与安装座通过轴承转动连接,所述齿轮与安装座通过轴承转动连接。

优选地,所述二号连接杆的外侧位于弹簧的一端固定有限位块。

优选地,所述二号连接杆的数量为两个,且两个所述二号连接杆沿着连接板的竖向中轴线对称设置。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型通过设置弹簧、弧形卡块、拉环、连接板,可通过向两侧拉动拉环,拉环便会通过二号连接杆带动弧形卡块向两侧进行移动,弧形卡块便会脱离底座,由此便可将防护板取下,从而解决无法对带料轮的表面进行单独更换的问题;通过设置丝杆、齿轮、卡齿、转盘、转杆、一号连接杆、套管、滑块,可转动转杆,使一号连接杆带动转盘进行转动,通过卡齿可使丝杆进行转动,由此便可使套管移动至底座的内部,从而解决无法增加带料轮的稳定性的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的连接板与防护板的连接示意图;

图3为本实用新型的弧形卡块与拉环的连接示意图。

图中:1、安装座;2、卡齿;3、一号连接杆;4、转杆;5、转盘;6、齿轮;7、弧形卡块;8、弹簧;9、拉环;10、二号连接杆;11、防护板;12、滑块;13、丝杆;14、套管;15、底座;16、连接板。

具体实施方式

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