[实用新型]一种半导体生产加工用测试工装有效
| 申请号: | 202021451487.2 | 申请日: | 2020-07-22 |
| 公开(公告)号: | CN212750847U | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
| 发明(设计)人: | 卢绍宾 | 申请(专利权)人: | 昆山永芯禾光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/66 |
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| 地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 生产 工用 测试 工装 | ||
1.一种半导体生产加工用测试工装,包括底座(8),所述底座(8)的顶部一侧装设有电源键(7),所述底座(8)的前表面顶部装设有压架(4),所述压架(4)上装设有手柄(3),其特征在于:所述底座(8)的顶部装设有检测台,所述检测台包括固定放置台(1)和移动放置台(9),所述固定放置台(1)上旋设安装有螺杆(2),所述移动放置台(9)转动装设在螺杆(2)的另一端,所述底座(8)上开设有导轨(11)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述压架(4)的一端连接装设有压板(5),所述压板(5)上固定装设有压杆(6),所述压杆(6)的一端连接装设有伸缩杆(13),所述伸缩杆(13)的内侧放置有弹簧(14),所述伸缩杆(13)的一端开设有一体式的套架(12)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述伸缩杆(13)通过套架(12)限位套设在压杆(6)的一端。
4.根据权利要求2所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述压板(5)装设在固定放置台(1)与移动放置台(9)的正上方。
5.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述螺杆(2)的一端开设有一体式的六角杆。
6.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述移动放置台(9)上开设有嵌槽(10),所述嵌槽(10)的内侧一端垫设有橡胶片。
7.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述移动放置台(9)的底部开设有限位凸起,所述移动放置台(9)通过限位凸起限位装设在导轨(11)内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





