[实用新型]一种半导体生产加工用测试工装有效

专利信息
申请号: 202021451487.2 申请日: 2020-07-22
公开(公告)号: CN212750847U 公开(公告)日: 2021-03-19
发明(设计)人: 卢绍宾 申请(专利权)人: 昆山永芯禾光电科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 生产 工用 测试 工装
【权利要求书】:

1.一种半导体生产加工用测试工装,包括底座(8),所述底座(8)的顶部一侧装设有电源键(7),所述底座(8)的前表面顶部装设有压架(4),所述压架(4)上装设有手柄(3),其特征在于:所述底座(8)的顶部装设有检测台,所述检测台包括固定放置台(1)和移动放置台(9),所述固定放置台(1)上旋设安装有螺杆(2),所述移动放置台(9)转动装设在螺杆(2)的另一端,所述底座(8)上开设有导轨(11)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述压架(4)的一端连接装设有压板(5),所述压板(5)上固定装设有压杆(6),所述压杆(6)的一端连接装设有伸缩杆(13),所述伸缩杆(13)的内侧放置有弹簧(14),所述伸缩杆(13)的一端开设有一体式的套架(12)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述伸缩杆(13)通过套架(12)限位套设在压杆(6)的一端。

4.根据权利要求2所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述压板(5)装设在固定放置台(1)与移动放置台(9)的正上方。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述螺杆(2)的一端开设有一体式的六角杆。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述移动放置台(9)上开设有嵌槽(10),所述嵌槽(10)的内侧一端垫设有橡胶片。

7.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用测试工装,其特征在于:所述移动放置台(9)的底部开设有限位凸起,所述移动放置台(9)通过限位凸起限位装设在导轨(11)内。

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