[实用新型]一种高精度高可靠COF预邦压头

权利要求书

1.一种高精度高可靠COF预邦压头，包括与产品相接触的吸附端面(1)，设置在吸附端面(1)一侧的温度传感器安装孔(2)，设置在吸附端面(1)顶部的加热棒安装孔(3)，其特征在于：

所述吸附端面(1)的表面粗糙度等级为七级或七级以上，所述吸附端面(1)上设置有至少三行吸附区(11)，所述吸附区(11)包括若干的吸附孔(111)，所述吸附孔(111)的直径为0.8～1.2mm之间；还包括均设置在吸附端面(1)一侧并分别与每一行吸附区(11)上的各个吸附孔(111)相连通的至少三个第一连接孔(4)，分别设置在吸附端面(1)一侧并分别与每一行吸附区(11)上的若干吸附孔(111)相连通的若干个第二连接孔(5)，设置在吸附端面(1)一侧并与任意一行吸附区(11)上的吸附孔(111)相连通的抽气孔(6)，以及设置在吸附端面(1)顶部的至少一个定位台阶(7)，所述第一连接孔(4)的数量与吸附区(11)的行数相同。

2.根据权利要求1所述的一种高精度高可靠COF预邦压头，其特征在于，所述吸附端面(1)的一侧设置有两个温度传感器安装孔(2)。

3.根据权利要求1所述的一种高精度高可靠COF预邦压头，其特征在于，所述加热棒安装孔(3)贯穿本体设置。

4.根据权利要求1所述的一种高精度高可靠COF预邦压头，其特征在于，所述吸附端面(1)上设置有三行的吸附区(11)。

5.根据权利要求1所述的一种高精度高可靠COF预邦压头，其特征在于，所述吸附端面(1)的顶部设置有三个定位台阶(7)。

6.根据权利要求1所述的一种高精度高可靠COF预邦压头，其特征在于，所述吸附端面(1)的顶部设置有若干个螺丝孔(8)。

7.根据权利要求1所述的一种高精度高可靠COF预邦压头，其特征在于，所述吸附端面(1)的一侧设置有若干个螺纹孔(9)。

8.根据权利要求6所述的一种高精度高可靠COF预邦压头，其特征在于，所述螺丝孔(8)的一侧开有避空槽(10)。