[实用新型]一种单晶炉用炉底加热器

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉用炉底加热器，包括发热体和加热器脚板；所述发热体包括若干条状的发热部，所述发热部以同一圆心呈发射状分布，每个发热部的端部彼此连接，从而形成一环形的回路，且发热体的中心留空；每个发热部的内侧一端水平，从而构成一圆形的支撑面，中部向外侧的部分逐渐向上倾斜，外侧的端部设有一垂直向下的支撑面；所述加热器脚板设置于发热体相对的两侧，其为水平的板面，与对应的发热部外端支撑面相连接，且位于支撑面的底部，与其他发热部外端支撑面底部持平；所述加热器脚板上设有用于连接电极的石墨螺栓孔。

技术领域

本实用新型属于单晶硅制备领域，具体涉及一种单晶炉用炉底加热器。

背景技术

双加热器拉晶工艺在单晶行业内已推广，主加热器配合底加热器化料可有效缩短化料时间，压缩化料时间在整炉运行工时中的占比提高单小时产出。现有底加热器为筒状结构，化料时间长，线性尺寸大采购成本较高，由于结构较为复杂使用时易损坏，单炉石墨件使用成本较高。现有的平板式加热器化料速度慢，需长时间高功率进行化料，增加了电耗；桶式加热器线性尺寸较大，采购成本较高，且不同尺寸热场需单独购买，不具有通用性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种可均匀高效加热的加热器，以缩短化料时间，降低电耗，同时降低单炉底加热器石墨件成本。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种单晶炉用炉底加热器，包括发热体和加热器脚板；所述发热体包括若干条状的发热部，所述发热部以同一圆心呈发射状分布，每个发热部的端部彼此连接，从而形成一环形的回路，且发热体的中心留空；每个发热部的内侧一端水平，从而构成一圆形的支撑面，中部向外侧的部分逐渐向上倾斜，外侧的端部设有一垂直向下的支撑面；

所述加热器脚板设置于发热体相对的两侧，其为水平的板面，与对应的发热部外端支撑面相连接，且位于支撑面的底部，与其他发热部外端支撑面底部持平；

所述加热器脚板上设有用于连接电极的石墨螺栓孔。

进一步地，所述发热部包括第一发热部和第二发热部；所述第一发热部设置于发热体相对的两侧，其外端支撑面与加热器脚板连接，内侧一端与第二发热部连接；所述第二发热部的中部自内侧端向外侧端开有一隔离槽，从而将第二发热部一分为二，该隔离槽开至支撑面的中部，从而通过支撑面将隔离槽两侧一分为二的发热部串联起来，从而增加发热体回路的总长度以及缩小截面积最终实现该加热器的总电阻满足使用需求。加热器的总电阻由硬件设备的基础参数所决定。

优选地，所述第一发热部共四个，两两设置于发热体相对的两侧；每侧的两个第一发热部的外端之间，连接加热器脚板，以增强发热体整体的支撑强度；同时，该加热器整体形成并联电路结构，单侧形成回路不能断开，单侧的各发热部分为串联结构。

优选地，所述第一发热部和第二发热部的宽度相同，有利于单晶炉的受热均匀。

优选地，相邻的两个第一发热部之间的间隔角度为10～15°；相邻的两个第二发热部之间的间隔角度为20～30°；第一发热部与第二发热部之间的间隔角度为8～15°。

优选地，所述发热部的外侧部分倾斜角度与市场上常见的石墨埚底相吻合，倾斜角度控制在15～45°之间。

有益效果：

本实用新型单晶炉用炉底加热器采用均布式发热体布局，实现加热器各部分均匀发热，从而延长使用寿命。整个加热器外径小于埚底外径，完全被石墨埚底罩住，拉晶时不受氩气吹拂造成自身温度的降低，同时采用碗型结构完全贴合石墨埚底，可近距离对埚底进行充分加热，加快化料速度，缩短化料时间，节省电耗，各发热部开瓣360度均布可实现加热均衡，以及加热器脚板的配合安装需求。该加热器适用于不同热场尺寸的石墨坩埚和石英坩埚，减少热场采购及后期管理成本。

附图说明