[实用新型]一种单晶炉用炉底加热器有效
| 申请号: | 202021408021.4 | 申请日: | 2020-07-16 |
| 公开(公告)号: | CN212404353U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
| 发明(设计)人: | 郑伟扬;王思锋 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 徐芝强;肖明芳 |
| 地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉用炉底 加热器 | ||
1.一种单晶炉用炉底加热器,其特征在于,包括发热体(1)和加热器脚板(2);所述发热体(1)包括若干条状的发热部(11),所述发热部(11)以同一圆心呈发射状分布,每个发热部(11)的端部彼此连接,从而形成一环形的回路,且发热体(1)的中心留空;每个发热部(11)的内侧一端水平,从而构成一圆形的支撑面,中部向外侧的部分逐渐向上倾斜,外侧的端部设有一垂直向下的支撑面(12);
所述加热器脚板(2)设置于发热体(1)相对的两侧,其为水平的板面,与对应的发热部(11)外端支撑面(12)相连接,且位于支撑面(12)的底部,与其他发热部(11)外端支撑面底部持平;
所述加热器脚板(2)上设有用于连接电极的石墨螺栓孔(21)。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用炉底加热器,其特征在于,所述发热部(11)包括第一发热部(111)和第二发热部(112);所述第一发热部(111)设置于发热体(1)相对的两侧,其外端支撑面(12)与加热器脚板(2)连接,内侧一端与第二发热部(112)连接;所述第二发热部(112)的中部自内侧端向外侧端开有一隔离槽(113),从而将第二发热部(112)一分为二,该隔离槽(113)开至支撑面(12)的中部。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用炉底加热器,其特征在于,所述第一发热部(111)共四个,两两设置于发热体(1)相对的两侧;每侧的两个第一发热部(111)的外端之间,连接加热器脚板(2)。
4.根据权利要求3所述的单晶炉用炉底加热器,其特征在于,所述第一发热部(111)和第二发热部(112)的宽度相同。
5.根据权利要求3所述的单晶炉用炉底加热器,其特征在于,相邻的两个第一发热部(111)之间的间隔角度为10~15°;相邻的两个第二发热部(112)之间的间隔角度为20~30°;第一发热部(111)与第二发热部(112)之间的间隔角度为8~15°。
6.根据权利要求1所述的单晶炉用炉底加热器,其特征在于,所述发热部(11)的外侧部分倾斜角度为15~45°。
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