[实用新型]一种磷烷尾气回收装置

说明书

本实用新型属于尾气处理装置技术领域，尤其为一种磷烷尾气回收装置，包括底座、壳体、稀释仓和进气管，所述壳体固定连接在底座上表面，所述底座共有四个，并且排列在壳体下表面，所述稀释仓开设在壳体内部，所述进气管固定连接在稀释仓上表面，所述进气管上端固定连接有第一导气管，所述第一导气管的表面设置有第一阀门，所述壳体侧面固定连接有支撑台；本实用新型，通过设置限位杆、弹簧和卡槽，当人们氮气罐进行固定时，人们需要拉动把手，从而得以将限位杆拉入限位槽中，然后将氮气罐搭接在定位槽中，然后将把手松开，在弹簧的作用下从而得以将限位杆推出限位槽中，并且与开设在氮气罐表面的卡槽相卡接，从而实现对氮气罐进行固定的目的。

技术领域

本实用新型属于尾气处理装置技术领域，具体涉及一种磷烷尾气回收装置。

背景技术

电子工业中往往使用含磷烷气体做掺杂气体，由气体生产工厂混合成磷烷浓度为5%的混合气体，在充装前需要对残余气体进行处理置换，由于磷烷气体属于剧毒品，排放需小于0.3mg/m3，工业上通常采用燃烧法进行处理，实际吸收效果并不理想，仍有部分磷烷气体进入空气中,为解决以上问题，我们推出了以下装置。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种磷烷尾气回收装置，具有结构简单，操作便捷，并且具有方便使用的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种磷烷尾气回收装置，包括底座、壳体、稀释仓和进气管，所述壳体固定连接在底座上表面，所述底座共有四个，并且排列在壳体下表面，所述稀释仓开设在壳体内部，所述进气管固定连接在稀释仓上表面，所述进气管上端固定连接有第一导气管，所述第一导气管的表面设置有第一阀门，所述壳体侧面固定连接有支撑台，所述支撑台上表面固定连接有限位台，所述限位台上表面开设有定位槽，所述定位槽内部搭接有氮气罐，所述氮气罐上端设置有快速连接器，所述快速连接器上端设置有氮气导管，所述氮气导管与氮气罐通过快速连接器固定连接，所述氮气导管表面固定连接有第二阀门，所述氮气导管穿设在稀释仓内，所述氮气导管的另一端固定连接有喷头，所述壳体内部开设有导气仓，所述导气仓内部固定连接有抽气扇，所述抽气扇的侧面固定连接有第二导气管，所述第二导气管的另一端穿设在稀释仓内部，所述壳体内部开设有回收仓，所述回收仓表面穿设有第三导气管，所述第三导气管的另一端穿设在导气仓内部，所述回收仓内部储存有碱液，所述第三导气管的另一端穿设在碱液液面以下，所述碱液为NaClO与NaOH混合溶液,所述第三导气管的材质为耐腐蚀材质，所述回收仓上表面固定连接有排气管，所述排气管的另一端固定连接有第四导气管。

优选的，所述限位台内部开设有限位槽，所述限位槽中穿设有限位杆，所述限位杆的表面固定连接有限位块，所述限位杆的表面套接有弹簧，所述限位杆的一端固定连接有把手，所述氮气罐侧面开设有卡槽，所述限位杆的另一端卡接在卡槽中，所述限位杆共有两组，并且对称设置在限位台两侧。

优选的，所述回收仓内壁固定连接有PH检测仪，所述PH检测仪设置在碱液液面一下，所述回收仓内壁固定连接有磷烷浓度报警器，所述磷烷浓度报警器设置在碱液液面以上。

优选的，所述回收仓上表面固定连接有注液管，所述回收仓侧面固定连接有排液管，所述排液管的表面固定连接有第三阀门，所述排液管的材质为耐腐蚀材质。

优选的，所述回收仓表面镶嵌有观察窗，所述观察窗表面固定连接有计量刻度，所述观察窗的材质为耐腐蚀材质，所述壳体正面固定连接有控制开关，所述控制开关内部设置有微处理器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：