[实用新型]一种磷烷尾气回收装置有效

专利信息
申请号: 202021402125.4 申请日: 2020-07-16
公开(公告)号: CN212855273U 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 陈国富;龚施健;胡超群;林海宁;罗龙 申请(专利权)人: 博纯材料股份有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/46;B01D53/34;B01F3/02
代理公司: 广州博士科创知识产权代理有限公司 44663 代理人: 宋佳
地址: 362617 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 尾气 回收 装置
【权利要求书】:

1.一种磷烷尾气回收装置,包括底座(1)、壳体(2)、稀释仓(3)和进气管(4),其特征在于:所述壳体(2)固定连接在底座(1)上表面,所述底座(1)共有四个,并且排列在壳体(2)下表面,所述稀释仓(3)开设在壳体(2)内部,所述进气管(4)固定连接在稀释仓(3)上表面,所述进气管(4)上端固定连接有第一导气管(5),所述第一导气管(5)的表面设置有第一阀门(6),所述壳体(2)侧面固定连接有支撑台(7),所述支撑台(7)上表面固定连接有限位台(8),所述限位台(8)上表面开设有定位槽(9),所述定位槽(9)内部搭接有氮气罐(10),所述氮气罐(10)上端设置有快速连接器(17),所述快速连接器(17)上端设置有氮气导管(18),所述氮气导管(18)与氮气罐(10)通过快速连接器(17)固定连接,所述氮气导管(18)表面固定连接有第二阀门(19),所述氮气导管(18)穿设在稀释仓(3)内,所述氮气导管(18)的另一端固定连接有喷头(20),所述壳体(2)内部开设有导气仓(21),所述导气仓(21)内部固定连接有抽气扇(22),所述抽气扇(22)的侧面固定连接有第二导气管(23),所述第二导气管(23)的另一端穿设在稀释仓(3)内部,所述壳体(2)内部开设有回收仓(24),所述回收仓(24)表面穿设有第三导气管(26),所述第三导气管(26)的另一端穿设在导气仓(21)内部,所述回收仓(24)内部储存有碱液(25),所述第三导气管(26)的另一端穿设在碱液(25)液面以下,所述碱液(25)为NaClO与NaOH混合溶液,所述第三导气管(26)的材质为耐腐蚀材质,所述回收仓(24)上表面固定连接有排气管(27),所述排气管(27)的另一端固定连接有第四导气管(28)。

2.根据权利要求1所述的一种磷烷尾气回收装置,其特征在于:所述限位台(8)内部开设有限位槽(11),所述限位槽(11)中穿设有限位杆(12),所述限位杆(12)的表面固定连接有限位块(14),所述限位杆(12)的表面套接有弹簧(13),所述限位杆(12)的一端固定连接有把手(15),所述氮气罐(10)侧面开设有卡槽(16),所述限位杆(12)的另一端卡接在卡槽(16)中,所述限位杆(12)共有两组,并且对称设置在限位台(8)两侧。

3.根据权利要求1所述的一种磷烷尾气回收装置,其特征在于:所述回收仓(24)内壁固定连接有PH检测仪(29),所述PH检测仪(29)设置在碱液(25)液面一下,所述回收仓(24)内壁固定连接有磷烷浓度报警器(30),所述磷烷浓度报警器(30)设置在碱液(25)液面以上。

4.根据权利要求1所述的一种磷烷尾气回收装置,其特征在于:所述回收仓(24)上表面固定连接有注液管(31),所述回收仓(24)侧面固定连接有排液管(32),所述排液管(32)的表面固定连接有第三阀门(33),所述排液管(32)的材质为耐腐蚀材质。

5.根据权利要求1所述的一种磷烷尾气回收装置,其特征在于:所述回收仓(24)表面镶嵌有观察窗(34),所述观察窗(34)表面固定连接有计量刻度,所述观察窗(34)的材质为耐腐蚀材质,所述壳体(2)正面固定连接有控制开关(35),所述控制开关(35)内部设置有微处理器。

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