[实用新型]一种大尺寸硅片的液刀

说明书

本实用新型涉及液刀技术领域，且公开了一种大尺寸硅片的液刀，包括安装U形板，所述安装U形板左右两侧的内表面上通过安装轴承座转动连接有同一个转动杆，所述转动杆的底部固定连接有连接板，所述连接板的左右两侧均通过固定板螺纹连接有安装螺杆，所述连接板的下方设置有液刀本体，所述液刀本体的顶部开设有位于安装螺杆正下方的安装螺纹孔，所述安装螺杆的底端螺纹连接在安装螺纹孔的内表面上。本实用新型通过液刀本体正面设置的两行交错排列的排液刀口，起到使得单片硅片上喷洒的药液更多的作用，错开刀口设计达到可以避免硅片喷洒不均匀导致的清洗不干净的效果，从而达到提升清洗质量和效率的效果。

技术领域

本实用新型涉及液刀技术领域，尤其涉及一种大尺寸硅片的液刀。

背景技术

刻蚀工序硅片清洗需要用到液刀，随着硅片的快速发展，对于液刀的使用越来越多，进而对于液刀的要求也随之提高，但是现有的液刀因为单片硅片上喷洒的药液过少，喷洒不均匀导致清洗不干净。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：现有的液刀因为单片硅片上喷洒的药液过少，喷洒不均匀导致清洗不干净，而提出的一种大尺寸硅片的液刀。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种大尺寸硅片的液刀，包括安装U形板，所述安装U形板左右两侧的内表面上通过安装轴承座转动连接有同一个转动杆，所述转动杆的底部固定连接有连接板，所述连接板的左右两侧均通过固定板螺纹连接有安装螺杆，所述连接板的下方设置有液刀本体，所述液刀本体的顶部开设有位于安装螺杆正下方的安装螺纹孔，所述安装螺杆的底端螺纹连接在安装螺纹孔的内表面上，所述液刀本体的正面开设有两行排液刀口，两列所述排液刀口交错排列，所述转动杆的顶部固定连接有受力圆台，所述安装U形板顶部的内表面上固定连接有位于受力圆台外侧的调整U形板，所述安装U形板的顶部螺纹连接有调整螺杆，所述受力圆台的上表面通过牵引弹簧固定连接在调整U形板正面的内表面上，所述调整U形板背面的内表面上开设有限位槽，所述调整螺杆的底端贯穿调整U形板通过连接轴承座转动连接有位于受力圆台上方的挤压块，所述挤压块的底部为斜面，所述挤压块的背面通过限位杆滑动连接在限位槽的内表面上。

优选的，所述调整螺杆的顶端固定连接有操作旋钮。

优选的，所述调整螺杆的长度不小于十二厘米，所述调整螺杆外表面的螺纹长度不小于十厘米。

优选的，所述牵引弹簧的弹性系数为三十牛顿每厘米。

优选的，所述挤压块的底部斜面与水平面之间的角度在三十度至七十五度之间。

优选的，所述转动杆和连接板之间的连接方式为螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型通过液刀本体正面设置的两行交错排列的排液刀口，起到使得单片硅片上喷洒的药液更多的作用，错开刀口设计达到可以避免硅片喷洒不均匀导致的清洗不干净的效果，从而达到提升清洗质量和效率的效果。

(2)本实用新型通过操作旋钮起到控制挤压块在竖直方向升降的作用，进而通过挤压块在竖直方向升降达到有效挤压受力圆台，进而通过螺纹传动高精度调整液刀本体倾斜角度的效果，从而达到提升液刀使用精度的效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的液刀本体结构示意图；

图3为本实用新型的调整U形板右视结构示意图。

图中：1、安装U形板；2、转动杆；3、连接板；4、安装螺杆；5、液刀本体；6、安装螺纹孔；7、排液刀口；8、受力圆台；9、调整U形板；10、调整螺杆；11、牵引弹簧；12、挤压块；13、限位槽；14、限位杆；15、操作旋钮。

具体实施方式