[实用新型]氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统

权利要求书

1.一种氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：包括MOD电解装置(1)、再生液引射吸收装置(2)和负压逆流吸氨装置(3)，

其中所述MOD电解装置(1)的进液口与储存蚀刻废液的装置的出液口连通，该MOD电解装置(1)的出液口与再生液引射吸收装置(2)的进液口连通，该MOD电解装置(1)的出气口中的一路与再生液引射吸收装置(2)的进气口连通，且该MOD电解装置(1)的出气口中的另一路经引射管道混合器(4)后和在线蚀刻工序用设备(5)连通；

其中所述再生液引射吸收装置(2)的出气口与所述负压逆流吸氨装置(3)的进气口连通，该负压逆流吸氨装置的出液口与一氨水储存桶连通(6)连通；所述再生液引射吸收装置(2)的出液口与一再生子液调配桶(7)连通，且该再生子液调配桶经一再生子液储存缸(8)后与在线蚀刻工序用设备(5)连通；所述氨水储存桶(6)分别与所述再生子液调配桶(7)和所述在线蚀刻工序用设备(5)连通。

2.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述储存蚀刻废液的装置为蚀刻废液储存缸(9)，该所述蚀刻废液储存缸(9)与在线蚀刻工序用设备(5)或碱性蚀刻液萃取再生设备连通。

3.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述MOD电解装置(1)由包括直流电解槽(101)和MOD电解槽(102)的电解槽模组组成，且该所述电解槽模组的数量不超过18组；所述MOD电解装置的阳极为石墨电极、石墨烯电极、碳毡电极和氧化钌涂层电极中的一种，该所述MOD电解装置的阴极为不锈钢合金电极或钛合金电极。

4.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述再生液引射吸收装置(2)包括用于将MOD电解装置产生的电解废气引入该再生液引射吸收装置内的引射器(201)、用于该再生液引射吸收装置冷却的第一冷却装置(202)、用于检测再生液温度的再生液温控器、用于检测再生液电导率的再生液电导率控制器和再生液液位控制器(205)。

5.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述负压逆流吸氨装置(3)包括用于将氨气引入该负压逆流吸氨装置进行吸收溶解的负压逆流吸收器、用于该负压逆流吸氨装置冷却的第二冷却装置(302)、用于检测氨水温度的氨水温控器、用于检测氨水电导率的氨水电导率控制器和氨水液位控制器(305)。

6.根据权利要求4所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述第一冷却装置(202)包括设置于再生液引射吸收装置内部的钛冷却管和冷凝器，以及设置于外部并与冷却管连通的冷却水循环装置(10)。

7.根据权利要求5所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述第二冷却装置(302)包括设置于负压逆流吸氨装置内部的钛冷却管和冷凝器，以及设置于外部并与冷却管连通的冷却水循环装置(10)。

8.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述引射管道混合器(4)与设置在线蚀刻工序用设备上的工作蚀刻液循环泵浦连通。

9.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述负压逆流吸氨装置(3)的尾气出口与一废气处理塔(11)的进气口连通，该废气处理塔(11)的尾气排放出口与外界连通，且该废气处理塔(11)的废水排放出口与废水池(12)连通。

10.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：所述在线蚀刻工序用设备为碱性蚀刻机。