[实用新型]晶体生长提拉装置及晶体生长炉

说明书

本申请涉及晶体制造技术领域，尤其是涉及一种晶体生长提拉装置及晶体生长炉，晶体生长提拉装置包括：旋转机构，旋转机构的输出端连接有杆构件；称重机构，设置于旋转机构的固定部；称重机构包括两个或更多个称重构件。本申请提供的晶体生长提拉装置显著提高了晶体重量测量结果的准确性，并且能够较大程度上规避晶体旋转时产生的切向力对测量结果产生的影响，并且测量结果作为控制信息，能够避免对晶体在自动化生长产生影响，从而确保晶体的生长质量。

技术领域

本申请涉及晶体制造技术领域，尤其是涉及一种晶体生长提拉装置及晶体生长炉。

背景技术

在晶体自动化生长炉中(例如，YAG晶体，即铝钇石榴石的自动化生长过程中)，因为所生长的晶体越来越大，晶体越来越重，加上晶体本身的旋转，这就使得晶体生长到后期，由于重心轻微偏移加上离心力的作用导致称重信号波动越来越大，这给晶体自动化控制带来了更多的干扰。

晶体的自动化生长中，称重信号是最关键的控制信号参考源。但因为所需晶体的尺寸大幅提升，这就需要更大的坩埚，更多的保温材料，提拉过程有更长的行程。而晶体与提拉头之间靠刚玉杆连接，这样刚玉杆也就需要更长，提拉法生长晶体，都需要一边旋转一边提拉，这样更长的刚玉杆长度，更重的晶体重量都会导致旋转过程产生的切向力显著增加，点状分布的单称重头结构在面对这种切向力时，容易产生额外的不规律的重量变化，对晶体的自动化生长产生影响。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种晶体生长提拉装置及晶体生长炉，以在一定程度上解决现有技术中存在的称重装置的称重结果不准确的技术问题。

本申请提供了一种晶体生长提拉装置，包括：旋转机构，所述旋转机构的输出端连接有杆构件，所述杆构件用于连接承载有晶体的构件；

称重机构，设置于所述旋转机构的固定部；

所述称重机构包括两个或更多个称重构件。

在上述技术方案中，进一步地，所述称重构件的数量为三个，三个所述称重构件呈旋转对称设置，旋转角度为120°。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述称重构件的数量为大于三个，多个所述称重构件呈旋转对称设置。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述晶体生长提拉装置还包括固定件，所述旋转机构与所述固定件相连接。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述旋转机构包括固定支架以及驱动装置，所述驱动装置设置于所述固定支架，所述杆构件与所述驱动装置的输出轴相连接。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述称重机构还包括称重头和称重支架，所述称重头设置于所述固定支架，所述称重支架设置于所述称重头，且所述称重支架与所述固定件相连接；至少三个所述称重构件设置于所述称重支架。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述晶体生长提拉装置还包括信号处理器，所述称重构件与所述信号处理器电连接。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述称重构件为称重传感器。

在上述任一技术方案中，进一步地，所述驱动装置为旋转电机。

本申请还提供了一种晶体生长炉，包括上述任一技术方案所述的晶体生长提拉装置，因而，具有该晶体生长提拉装置的全部有益技术效果，在此，不再赘述。

与现有技术相比，本申请的有益效果为：

旋转机构，所述旋转机构的输出端连接有杆构件，所述杆构件用于连接承载有晶体的构件；

称重机构，设置于所述旋转机构的固定部；

所述称重机构包括两个或更多个称重构件。