[实用新型]晶体生长提拉装置及晶体生长炉有效
申请号: | 202021383410.6 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN212533194U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 赖维明;杨勇;龚四均 | 申请(专利权)人: | 成都东骏激光股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 汪喆 |
地址: | 611600 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长 装置 | ||
1.一种晶体生长提拉装置,其特征在于,包括:
旋转机构,所述旋转机构的输出端连接有杆构件,所述杆构件用于连接承载有晶体的构件;
称重机构,设置于所述旋转机构的固定部;
所述称重机构包括两个或更多个称重构件。
2.根据权利要求1所述的晶体生长提拉装置,其特征在于,所述称重构件的数量为三个,三个所述称重构件呈旋转对称设置,旋转角度为120°。
3.根据权利要求1所述的晶体生长提拉装置,其特征在于,所述称重构件的数量为大于三个,多个所述称重构件呈旋转对称设置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶体生长提拉装置,其特征在于,所述晶体生长提拉装置还包括固定件,所述旋转机构与所述固定件相连接。
5.根据权利要求4所述的晶体生长提拉装置,其特征在于,所述旋转机构包括固定支架以及驱动装置,所述驱动装置设置于所述固定支架,所述杆构件与所述驱动装置的输出轴相连接。
6.根据权利要求5所述的晶体生长提拉装置,其特征在于,所述称重机构还包括称重头和称重支架,所述称重头设置于所述固定支架,所述称重支架设置于所述称重头,且所述称重支架与所述固定件相连接;至少三个所述称重构件设置于所述称重支架。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的晶体生长提拉装置,其特征在于,所述晶体生长提拉装置还包括信号处理器,所述称重构件与所述信号处理器电连接。
8.根据权利要求1所述的晶体生长提拉装置,其特征在于,所述称重构件为称重传感器。
9.根据权利要求6所述的晶体生长提拉装置,其特征在于,所述驱动装置为旋转电机。
10.一种晶体生长炉,其特征在于,包括权利要求1至9中任一项所述的晶体生长提拉装置。
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