[实用新型]一种设备及吸附装置

说明书

本实用新型公开一种设备及吸附装置，其中，该吸附装置包括吸盘部和基盘部，所述吸附装置设有真空腔，所述吸盘部设有吸附面，所述吸附面设有与各所述真空腔对应连通的吸附孔，用于吸附待吸附物，所述吸盘部靠近所述吸附面的一面设有至少一个开口，所述开口被配置为容纳机械手，所述机械手用于将所述待吸附物放置于所述吸附面或自所述吸附面取走所述待吸附物；所述吸附装置还包括举升组件，至少所述吸盘部设有贯通孔，所述举升组件通过所述贯通孔驱使所述待吸附物进行升降。本实用新型实施例所提供吸附装置可以方便待吸附物进行取放，能够容易地实现待吸附物在吸附面的放置或者取走。

技术领域

本实用新型涉及晶圆吸附技术领域，具体涉及一种设备及吸附装置。

背景技术

在对晶圆进行加工、运输或者检测的过程中，普遍要采用吸盘对晶圆进行吸附，吸盘与晶圆之间需紧密贴合、并通过负压进行吸紧，这就对晶圆在吸盘吸附面上放置和取用造成困难。

因此，如何提供一种方案，以克服上述缺陷，仍是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种吸附装置，可以产生不同的吸附范围，以提高通用性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种吸附装置，包括吸盘部和基盘部，所述吸附装置设有真空腔，所述吸盘部设有吸附面，所述吸附面设有与所述真空腔对应连通的吸附孔，用于吸附待吸附物，所述吸盘部靠近所述吸附面的一面设有至少一个开口，所述开口被配置为容纳机械手，所述机械手用于将所述待吸附物放置于所述吸附面或自所述吸附面取走所述待吸附物；所述吸附装置还包括举升组件，至少所述吸盘部设有贯通孔，所述举升组件通过所述贯通孔驱使所述待吸附物进行升降。

本实用新型实施例提供了两种挪移待吸附物的方式，其一，是在吸盘部靠近吸附面的一面设置开口，该开口可以与机械手相匹配，进而可以方便地放置待吸附物或者取走待吸附物；其二，是设置举升组件，举升组件可以对待吸附物进行升降，从而可以方便地配合机械手对待吸附物进行挪移。这两种方式均可以对待吸附物进行挪移，可以大幅提高吸附装置在使用过程中的便捷性。

可选地，所述吸盘部与所述基盘部围合形成真空腔，所述基盘部也设有贯通孔。

可选地，所述吸附装置包括多个相互隔离的所述真空腔，各所述真空腔中至少部分在径向上间隔设置。

可选地，所述吸盘部朝向所述基盘部的一面设有凹槽，所述凹槽与所述基盘部朝向所述吸盘部的一面围合形成所述真空腔。

可选地，所述吸盘部包括多孔吸附板，所述多孔吸附板设有与所述真空腔连通的所述吸附孔。

可选地，所述吸附面包括多个吸附区域，多个所述真空腔分别为多个所述吸附区域提供吸附力。

可选地，用于产生不同吸附范围的各所述真空腔之间设有环形密封件相隔离，径向上最外侧的所述真空腔的外侧也设有环形密封件。

可选地，所述基盘部设有环槽，用于安装所述环形密封件。

可选地，所述基盘部设有真空孔，所述真空孔与所述真空腔通气连通，且所述真空孔与真空管路连通，所述真空管路对所述真空孔进行抽气使所述真空腔产生负压。

可选地，所述举升组件设有可升降的举升部件，所述举升部件的数量为多个，各所述举升部件沿周向间隔分布，所述举升部件能够穿过所述贯通孔，以驱使所述待吸附物进行升降。

可选地，所述贯通孔与各所述真空腔错位设置。

可选地，所述举升组件位于靠近所述吸附面中心的吸附区域内。