[实用新型]一种设备及吸附装置

权利要求书

1.一种吸附装置，包括吸盘部(1)和基盘部(2)，其特征在于，所述吸附装置设有真空腔，所述吸盘部(1)设有吸附面(11)，所述吸附面(11)设有与所述真空腔对应连通的吸附孔(12)，用于吸附待吸附物，所述吸盘部(1)靠近所述吸附面(11)的一面设有至少一个开口(14)，所述开口(14)被配置为容纳机械手(3)，所述机械手(3)用于将所述待吸附物放置于所述吸附面(11)或自所述吸附面(11)取走所述待吸附物；

所述吸附装置还包括举升组件，至少所述吸盘部(1)设有贯通孔，所述举升组件通过所述贯通孔驱使所述待吸附物进行升降。

2.根据权利要求1所述吸附装置，其特征在于，所述吸盘部(1)与所述基盘部(2)围合形成真空腔，所述基盘部(2)也设有贯通孔。

3.根据权利要求1所述吸附装置，其特征在于，所述吸附装置包括多个相互隔离的所述真空腔，各所述真空腔中至少部分在径向上间隔设置。

4.根据权利要求1～3中任一所述吸附装置，其特征在于，所述吸盘部(1)朝向所述基盘部(2)的一面设有凹槽(13)，所述凹槽(13)与所述基盘部(2)朝向所述吸盘部(1)的一面围合形成所述真空腔。

5.根据权利要求1所述吸附装置，其特征在于，所述吸盘部(1)包括多孔吸附板，所述多孔吸附板设有与所述真空腔连通的所述吸附孔(12)。

6.根据权利要求3所述吸附装置，其特征在于，所述吸附面(11)包括多个吸附区域，多个所述真空腔分别为多个所述吸附区域提供吸附力。

7.根据权利要求3所述吸附装置，其特征在于，用于产生不同吸附范围的各所述真空腔之间设有环形密封件(21)相隔离，径向上最外侧的所述真空腔的外侧也设有环形密封件(21)。

8.根据权利要求7所述吸附装置，其特征在于，所述基盘部(2)设有环槽(22)，用于安装所述环形密封件(21)。

9.根据权利要求2或3所述吸附装置，其特征在于，所述基盘部(2)设有真空孔，所述真空孔与所述真空腔通气连通，且所述真空孔与真空管路连通，所述真空管路对所述真空孔进行抽气使所述真空腔产生负压。

10.根据权利要求1所述吸附装置，其特征在于，所述举升组件设有可升降的举升部件，所述举升部件的数量为多个，各所述举升部件沿周向间隔分布，所述举升部件能够穿过所述贯通孔，以驱使所述待吸附物进行升降。

11.根据权利要求1所述吸附装置，其特征在于，所述贯通孔与各所述真空腔错位设置。

12.根据权利要求1所述吸附装置，其特征在于，所述举升组件位于靠近所述吸附面(11)中心的吸附区域内。

13.一种设备，其特征在于，包括：

如权利要求1～12任一项所述的吸附装置，所述吸附装置用于固定待处理的待吸附物；

处理系统，用于对所述吸附装置固定的所述待吸附物进行处理；

机械手(3)，用于在处理前将所述待吸附物放置于所述吸附装置，并在处理后从所述吸附装置移走所述待吸附物。

14.根据权利要求13所述设备，其特征在于，所述机械手(3)包括第一机械手和/或第二机械手，所述第一机械手与所述吸附装置的所述吸盘部(1)的所述开口(14)相匹配，所述第二机械手与所述吸附装置的举升组件相匹配。