[实用新型]基于多光谱的半导体智能检测装置

说明书

本实用新型涉及工业自动化的技术领域，特别是涉及一种基于多光谱的半导体智能检测装置，其能够有效改善产品缺陷的检测效果，提高产品检测效率，降低使用局限性；包括工作台、多光谱成像处理器、电机、减速机、主动轴、从动轴和传送带，工作台的底端设置有四组支撑腿，多光谱成像处理器固定安装在工作台的顶端，多光谱成像处理器的前端设置有显示屏和光学镜头，工作台顶端的左右两侧分别对称的设置有两组左立板和两组右立板，电机和减速机固定安装一组左立板的前端，电机的输出端与减速机的输入端连接，主动轴通过与减速机输出端的连接转动安装在两组左立板上，从动轴转动安装在两组右立板上，传送带转动套装在主动轴和从动轴的圆周外壁上。

技术领域

本实用新型涉及工业自动化的技术领域，特别是涉及一种基于多光谱的半导体智能检测装置。

背景技术

在半导体领域，由于其产品单元较多，如一片板子上有成千上万可晶圆，对视觉技术的速度要求很高，为了确保产品的质量，需要对产品进行缺陷检测，传统的视觉检测技术，一般采用单一光源对单个产品一次成像，为了兼顾不同型号的产品，通常备用多种光源做选择，根据当前生产产品的缺陷形态来选择何种光源来进行成像。然而，在工作过程中发现，产品缺陷检测效果差，产品检测效率低，导致使用局限性较高。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种能够有效改善产品缺陷的检测效果，提高产品检测效率，降低使用局限性的一种基于多光谱的半导体智能检测装置。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，包括工作台、多光谱成像处理器、电机、减速机、主动轴、从动轴和传送带，工作台的底端设置有四组支撑腿，多光谱成像处理器固定安装在工作台的顶端，多光谱成像处理器的前端设置有显示屏和光学镜头，工作台顶端的左右两侧分别对称的设置有两组左立板和两组右立板，电机和减速机固定安装一组左立板的前端，电机的输出端与减速机的输入端连接，主动轴通过与减速机输出端的连接转动安装在两组左立板上，从动轴转动安装在两组右立板上，传送带转动套装在主动轴和从动轴的圆周外壁上。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括四组万向架和四组脚轮，四组万向架分别固定安装在四组支撑腿的底端，四组脚轮分别转动安装在四组万向架上，四组万向架上均转动设置有锁扣。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括手推把，手推把固定安装在工作台的左端。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括防滑把套，防滑把套固定套装在手推把的圆周外壁上。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括挡板，挡板固定安装在一组左立板和右立板的前端。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括散热板，多光谱成像处理器的后端设置有散热口，散热板上设置有四组固定螺栓，散热板通过四组固定螺栓固定安装在散热口上。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括四组横梁，四组横梁分别固定安装在四组支撑腿上。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，所述工作台采用不锈钢材质制作。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：首先将产品放置到传送带上，通过启动电机，电机带动减速机传动，减速机带动主动轴转动，主动轴带动传送带和从动轴转动，通过传送带的转动对产品进行输送，当产品进入到光学镜头的视线时，光学镜头取得场景中的图像后，将图像信息传递给多光谱成像处理器，多光谱成像处理器通过内部处理器通过图像融合技术进行分析处理，并将缺陷检测结果通过显示屏显示出来，完成缺陷检测，多光谱成像处理器采用多光谱成像与图像处理技术，能够一次成像完成需要多次成像的目的，适应不同形态的产品缺陷检测，从而能够有效改善产品缺陷的检测效果，提高产品检测效率，降低使用局限性。

附图说明

图1是本实用新型的前侧示意图；