[实用新型]陀螺仪

说明书

本实用新型公开了陀螺仪，其包括基底、固定件、环形件以及电极，固定件与基底连接；环形件呈波浪形，环形件设于固定件的外侧且与固定件连接；环形件悬置于基底上，环形件的外轮廓为正8N角星，其中，N为正整数；电极覆盖于环形件的外表面且与基底连接，电极包括驱动电极和检测电极，驱动电极用于与环形件共同作用驱动环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，检测电极用于与环形件共同作用检测环形件沿与第一方向的夹角呈45度方向和/或与第一方向的夹角呈135度方向振动。本实用新型公开的陀螺仪一方面热弹性损失较小，具有极高的品质因数；另一方面有效增大了检测电容，提高了陀螺仪的灵敏度。

【技术领域】

本发明涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种陀螺仪。

【背景技术】

微机械陀螺仪，即MEMS(Micro Electro Mechanical systems)陀螺仪，是一种典型的角速度微传感器，由于其尺寸小、功耗低和加工方便等优势在消费电子市场有着非常广泛的应用。近年来随着陀螺仪性能的逐步提升，广泛应用于汽车、工业、虚拟现实等领域。

陀螺仪可分为线振动音叉型陀螺仪和圆盘形陀螺仪两类，其中，圆盘形陀螺仪的驱动模态振型和检测模态振型简并,灵敏度高，且结构简单，逐步成为实用较为广泛的高性能陀螺仪。但是，圆盘形陀螺仪受限于结构和空间布局，导致品质因数低，且结构内可够容纳的电容量较小，存在着应用的局限。

因而，有必要提供一种新的陀螺仪以解决上述的问题。

【发明内容】

本发明的目的公开一种品质因数高的陀螺仪。

本发明的目的采用如下技术方案实现：

一种陀螺仪，包括基底、固定件、环形件以及电极，固定件与基底连接；环形件呈波浪形，环形件设于固定件的外侧且与固定件连接；环形件悬置于基底上，环形件的外轮廓为正8N角星，其中，N为正整数；电极覆盖于环形件的外表面且与基底连接，电极包括驱动电极和检测电极，驱动电极用于与环形件共同作用驱动环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，检测电极用于与环形件共同作用检测环形件沿与第一方向的夹角呈45度方向和/或与第一方向的夹角呈135度方向振动。

作为一种改进方式，环形件的外表面包括远离固定件一侧的侧表面及与侧表面相邻且相对设置的上表面和下表面，电极排布于侧表面、上表面和下表面中的至少一个。

作为一种改进方式，环形件包括多个朝向固定件直径依次变小的辐条，多个辐条依次连接在一起，相邻的辐条呈预设角度。

作为一种改进方式，环形件还包括多个连接梁，连接梁的相对两端分别连接一个辐条。

作为一种改进方式，驱动电极还包括第一驱动极片，第一驱动极片设置在相邻辐条的连接处，每个第一驱动极片的截面呈V形；检测电极还包括第一检测极片，第一检测极片设置在相邻辐条的连接处，每个第一驱动极片的截面呈V形。

作为一种改进方式，驱动电极还包括第一驱动极片，第一驱动极片设置在相邻辐条的连接处，每个第一驱动极片的截面呈U形；检测电极还包括第一检测极片，第一检测极片设置在相邻辐条的连接处，每个第一驱动极片的截面呈U形。

作为一种改进方式，驱动电极还包括第二驱动极片，第二驱动极片设置在最外侧的辐条的侧面；检测电极还包括第二检测极片，第二检测极片设置在最外侧的辐条的侧面。

作为一种改进方式，环形件还包括多个连接梁，相邻的辐条之间形成间隙并通过连接梁连接。