[实用新型]一种显微镜

说明书

本实用新型公开了一种显微镜，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，粒子光学镜筒设置于真空样品室内，联动支撑机构控制粒子光学镜筒移动，对样品室内的待测样品不同区域的观察。本实用新型提供的显微镜可直接观察大体积，大质量的待测样品。

技术领域

本实用新型属于观察检测设备技术领域，具体地说，涉及一种显微镜。

背景技术

现有技术中扫描粒子显微镜，其利用聚焦的粒子束来扫描待测样品,通过粒子束与待测样品的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的，扫描粒子显微镜在观察材料表面形貌领域应用广泛。

扫描粒子显微镜以其纳米级的分辨率和广泛的应用分析范围，成为重要的科研工具。然而由于传统的扫描粒子显微镜发展的方向始终围绕着图像分辨率的提升，待测样品往往需要很小，或者是要求用户必须将待测样品制备的很小才能使用扫描粒子显微镜观察。

因此市场上发售的绝大多数扫描粒子显微镜的真空样品室往往很有限，仅能容纳直径100mm、重量小于5kg的待测样品，并且有很多待测样品是不允许切片制作待测样品试件的，例如古董、航空发动机、机壳机体材料、汽车发动机、船舶桨翼、武器引信等，所以现有的扫描粒子显微镜，远远不能满足用户的需求。

有鉴于此特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种显微镜，可直接观察大体积，大质量的待测样品。

为解决上述技术问题，本实用新型采用技术方案的基本构思是：一种显微镜，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，所述联动支撑机构包括：

X轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着X轴方向往复运动；

Z轴转动组件，设置在所述X轴移动组件上，所述样品台设置在所述Z轴转动组件上；

所述Z轴转动组件在所述X轴移动组件上带动所述样品台在Z轴方向转动；

Y轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着Y轴方向往复运动；

Z轴移动组件，设置在所述Y轴移动组件上，可沿着Z轴方向往复运动；

X轴转动组件，设置在所述Z轴移动组件上，所述X轴转动组件上设置有支撑架；

所述X轴转动组件在所述Z轴移动组件上带动所述支撑架在X轴方向转动；

A轴移动组件，设置在所述支撑架上，所述粒子光学镜筒设置在所述A轴移动组件上，所述A轴移动组件在所述支撑架上带动所述粒子光学镜筒在A轴方向往复运动。

进一步的，还包括三维激光扫描仪，所述三维激光扫描仪设置于所述样品室内，用于对放置在所述样品台上的待测样品建立三维模型。

进一步的，还包括处理器，所述处理器与所述三维激光扫描仪和所述联动支撑机构控制连接。

在一些可选的实施方式中，所述三维激光扫描仪设置在所述样品室的内壁上。

在一些可选的实施方式中，所述三维激光扫描仪设置在所述粒子光学镜筒上。

在一些可选的实施方式中，所述联动支撑机构还包括Y轴转动组件，设置在所述X轴移动组件上，所述Z轴转动组件设置在所述Y轴转动组件上，所述Y轴转动组件带动所述样品台和所述Z轴转动组件在Y轴方向转动。

在一些可选的实施方式中，还包括第一Y轴移动机构，设置在所述承载台上，可沿着Y轴方向往复运动，所述X轴移动组件设置在所述第一Y轴移动机构上。