[实用新型]一种显微镜

权利要求书

1.一种显微镜，其特征在于，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，所述联动支撑机构包括：

X轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着X轴方向往复运动；

Z轴转动组件，设置在所述X轴移动组件上，所述样品台设置在所述Z轴转动组件上；

所述Z轴转动组件在所述X轴移动组件上带动所述样品台在Z轴方向转动；

Y轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着Y轴方向往复运动；

Z轴移动组件，设置在所述Y轴移动组件上，可沿着Z轴方向往复运动；

X轴转动组件，设置在所述Z轴移动组件上，所述X轴转动组件上设置有支撑架；

所述X轴转动组件在所述Z轴移动组件上带动所述支撑架在X轴方向转动；

A轴移动组件，设置在所述支撑架上，所述粒子光学镜筒设置在所述A轴移动组件上，所述A轴移动组件在所述支撑架上带动所述粒子光学镜筒在A轴方向往复运动。

2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，还包括三维激光扫描仪，所述三维激光扫描仪设置于所述样品室内，用于对放置在所述样品台上的待测样品建立三维模型。

3.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于，还包括处理器，所述处理器与所述三维激光扫描仪和所述联动支撑机构控制连接。

4.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于，所述三维激光扫描仪设置在所述样品室的内壁上。

5.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于，所述三维激光扫描仪设置在所述粒子光学镜筒上。

6.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述联动支撑机构还包括Y轴转动组件，设置在所述X轴移动组件上，所述Z轴转动组件设置在所述Y轴转动组件上，所述Y轴转动组件带动所述样品台和所述Z轴转动组件在Y轴方向转动。

7.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，还包括第一Y轴移动机构，设置在所述承载台上，可沿着Y轴方向往复运动，所述X轴移动组件设置在所述第一Y轴移动机构上。

8.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，还包括第二Y轴移动机构，所述承载台通过所述第二Y轴移动机构与所述样品室底面连接，所述第二Y轴移动机构带动所述承载台和所述联动支撑机构滑入或滑出所述样品室。

9.根据权利要求3所述的显微镜，其特征在于，还包括距离传感器，设置在所述粒子光学镜筒上，与所述处理器连接。

10.根据权利要求1-9任一项所述的显微镜，其特征在于，还包括空气弹簧减振器，所述样品室通过空气弹簧减振器与底座连接；

所述样品室内壁设置有至少一层高导磁屏蔽层。