[实用新型]一种用于晶圆检测的移动防振平台

说明书

本实用新型公开了一种用于晶圆检测的移动防振平台，包括承托平台、支撑脚及防振座，支撑脚设于所述承托平台底部，支撑脚至少设置两个，相邻的所述支撑脚之间连接有拱形横梁，支撑脚的顶部设有气浮式减振器，承托平台通过气浮式减振器与支撑脚连接，防振座内填充有防振填充料，防振座的顶部设有与支撑脚配合的安装槽，支撑脚设于安装槽内，支撑脚内设有减振弹簧，本实用新型防振效果良好。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产设备领域，特别涉及一种用于晶圆检测的移动防振平台。

背景技术

在晶圆的生产过程中，需要对晶圆进行检测，这时需要对晶圆进行移动输送，输送过程中因电机工作及输送装置移动等原因会产生振动，振动会传递至防止晶圆的平台，一旦振动过大会导致晶圆振动，容易发生碰撞损坏晶圆。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可有效防振的用于晶圆检测的移动防振平台。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：

一种用于晶圆检测的移动防振平台，包括承托平台、支撑脚及防振座，所述支撑脚设于所述承托平台底部，支撑脚至少设置两个，相邻的所述支撑脚之间连接有拱形横梁，支撑脚的顶部设有气浮式减振器，承托平台通过所述气浮式减振器与支撑脚连接，所述防振座内填充有防振填充料，防振座的顶部设有与支撑脚配合的安装槽，支撑脚设于所述安装槽内，支撑脚内设有减振弹簧。

本实用新型的进一步改进，所述支撑脚内设有定位柱，所述定位柱底部设有支撑块，所述减振弹簧套设于定位柱上。

本实用新型的进一步改进，所述支撑脚的两侧设有安装块，所述安装块的底面与所述防振座的顶面贴合，安装块通过螺栓与防振座固定连接。

本实用新型的进一步改进，所述承托平台内设有空腔，所述空腔内设有拱形板，空腔内填充有减振材料。

本实用新型的进一步改进，所述承托平台顶部设有缓振橡胶垫。

本实用新型的进一步改进，所述支撑脚的侧部与所述承托平台的底部之间设有加强筋。

本实用新型的进一步改进，所述防振填充料采用橡胶、海绵或是泡沫材料制成。

采用上述技术方案，振动先经减振台的防振填充料减振，然后传递至支撑脚，支撑脚的减振弹簧与气浮式减振器配合有效减少振动，再配合承托平台的缓冲材料、拱形板及缓冲橡胶垫，使得最后只有极小部分振动传递至放置在承托平台上的晶圆，本实用新型防振效果良好。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中标示：1、承托平台；2、支撑脚；3、防振座；4、拱形横梁；5、气浮式减振器；6、安装槽；7、减振弹簧；8、定位柱；9、支撑块；10、安装块；11、拱形板；12、缓振橡胶垫；13、加强筋。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。