[实用新型]一种用于晶圆检测的移动防振平台

权利要求书

1.一种用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：包括承托平台(1)、支撑脚(2)及防振座(3)，所述支撑脚(2)设于所述承托平台(1)底部，支撑脚(2)至少设置两个，相邻的所述支撑脚(2)之间连接有拱形横梁(4)，支撑脚(2)的顶部设有气浮式减振器(5)，承托平台(1)通过所述气浮式减振器(5)与支撑脚(2)连接，所述防振座(3)内填充有防振填充料，防振座(3)的顶部设有与支撑脚(2)配合的安装槽(6)，支撑脚(2)设于所述安装槽(6)内，支撑脚(2)内设有减振弹簧(7)。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述支撑脚(2)内设有定位柱(8)，所述定位柱(8)底部设有支撑块(9)，所述减振弹簧(7)套设于定位柱(8)上。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述支撑脚(2)的两侧设有安装块(10)，所述安装块(10)的底面与所述防振座(3)的顶面贴合，安装块(10)通过螺栓与防振座(3)固定连接。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述承托平台(1)内设有空腔，所述空腔内设有拱形板(11)，空腔内填充有减振材料。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述承托平台(1)顶部设有缓振橡胶垫(12)。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述支撑脚(2)的侧部与所述承托平台(1)的底部之间设有加强筋(13)。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述防振填充料采用橡胶、海绵或是泡沫材料制成。