[实用新型]一种晶圆切割台冷却水管高度检测装置

权利要求书

1.一种晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：包括高度指示件和检测件；所述高度指示件具有支撑板和垂直设置在所述支撑板上的指示板，所述支撑板上具有用于与切割刀转轴连接固定的安装定位孔，所述指示板距离所述定位孔中心的距离等于待安装刀片的刀刃到切割刀转轴中心的距离；所述检测件与所述指示板相配合以检测冷却水管距离所述指示板的距离。

2.根据权利要求1所述的晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：所述高度指示件上具有供所述检测件穿设的避让孔，所述避让孔设置在所述指示板与所述安装定位孔之间。

3.根据权利要求1所述的晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：所述指示板通过连接板安装固定在所述支撑板上，所述连接板与所述指示板垂直设置，且所述连接板与所述支撑板平行设置并固定在所述支撑板上。

4.根据权利要求3所述的晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：所述连接板与所述支撑板可拆卸式连接固定。

5.根据权利要求4所述的晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：所述连接板上背离所述支撑板的安装面设置有向所述支撑板方向凸伸的定位块，所述支撑板上设置有与所述定位块相对设置的定位孔。

6.根据权利要求5所述的晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：所述定位块包括第一定位柱和第二定位柱，所述第一定位柱和所述第二定位柱相对设置在所述安装定位孔的两侧。

7.根据权利要求6所述的晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：所述定位孔包括若干沿竖向方向排布的定位孔组件，每一所述定位孔组件内均包括与所述第一定位柱相适配的第一定位孔和与所述第二定位柱相适配的第二定位孔。

8.根据权利要求1所述的晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：所述检测件上设置有圆形倒角。

9.根据权利要求1所述的晶圆切割台冷却水管高度检测装置，其特征在于：所述支撑板上还对称设置有减重缺口。