[实用新型]一种芯片生产用检测传输装置有效

专利信息
申请号: 202021302111.5 申请日: 2020-07-06
公开(公告)号: CN212848339U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 黄伟 申请(专利权)人: 天津方圆系统集成有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 北京化育知识产权代理有限公司 11833 代理人: 尹均利
地址: 300000 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 生产 检测 传输 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片生产用检测传输装置,包括底座箱(1)和安装在底座箱(1)正上方的升降箱(4),其特征在于,所述底座箱(1)的顶壁的中间位置固定有垂直的固定管(11),所述升降箱(4)的底壁的中间位置通过轴承转动连接有垂直的螺柱(2),所述螺柱(2)螺旋配合连接在所述固定管(11)的内圈,所述螺柱(2)的顶端延伸至升降箱(4)的内部且固定连接有第一锥齿轮(15),所述升降箱(4)的底部的侧壁上通过轴承转动连接有水平的转动杆(9),所述转动杆(9)位于升降箱(4)内部的一端固定连接有第二锥齿轮(16),第二锥齿轮(16)与第一锥齿轮(15)啮合连接,所述底座箱(1)的顶壁的四角均开设有活动孔,活动孔中间隙配合有垂直的固定杆(3),所述固定杆(3)的顶端固定连接在所述升降箱(4)的外底壁上,位于转动杆(9)上方的所述升降箱(4)的侧壁上安装有水平的步进电机(5),所述步进电机(5)的输出端位于升降箱(4)的内部且固定连接有水平的螺杆(14),所述升降箱(4)的顶壁上开设有矩形的移动孔(12),所述移动孔(12)的内部活动套接有垂直的矩形的传动板(7),所述传动板(7)螺旋配合连接在所述螺杆(14)的外圈,所述移动孔(12)的两侧内侧壁之间固定连接有水平的限位杆(13),所述传动板(7)间隙配合在限位杆(13)的外圈,所述传动板(7)的顶端延伸至升降箱(4)的上方且固定连接有水平的安装板(6),所述安装板(6)的顶壁上固定有支撑板(8),所述支撑板(8)的顶壁上开设有多个限位槽(17)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测传输装置,其特征在于,所述固定杆(3)的底端延伸至底座箱(1)的内部且焊接有水平的限位板,限位板的长度大于所述固定杆(3)外圈的直径,所述固定管(11)的顶端与所述底座箱(1)的外顶壁齐平,所述固定杆(3)的底端高于所述螺柱(2)的底端。

3.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测传输装置,其特征在于,所述底座箱(1)的外底壁的四角均安装有自锁式万向轮。

4.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测传输装置,其特征在于,所述转动杆(9)远离第二锥齿轮(16)的一端延伸出升降箱(4)且焊接有摇柄(10)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测传输装置,其特征在于,所述支撑板(8)为橡胶材质,所述支撑板(8)通过螺栓固定在所述安装板(6)的顶壁上。

6.根据权利要求1所述的一种芯片生产用检测传输装置,其特征在于,所述螺杆(14)远离步进电机(5)的一端通过轴承转动连接在所述升降箱(4)的内侧壁上。

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