[实用新型]一种清洗设备

权利要求书

1.一种清洗设备，其特征在于，包括：

有机溶剂清洗机构，所述有机溶剂清洗机构包括第一旋转座(1)和有机溶剂喷头组件，置于所述第一旋转座(1)上的待清洗晶片(3)能够随所述第一旋转座(1)旋转，所述有机溶剂喷头组件位于所述第一旋转座(1)的上方，并朝向所述第一旋转座(1)设置，用于向所述待清洗晶片(3)表面喷洒有机清洗溶剂；

洗刷机构，所述洗刷机构包括第二旋转座(4)、冲洗喷头组件和刷头组件，置于所述第二旋转座(4)上的所述待清洗晶片(3)能够随所述第二旋转座(4)旋转，所述刷头组件位于所述第二旋转座(4)的上方，并能够对所述待清洗晶片(3)进行洗刷，所述冲洗喷头组件用于向所述待清洗晶片(3)喷洒清洗水；

中间转移机构，用于将所述待清洗晶片(3)由所述第一旋转座(1)转移至所述第二旋转座(4)。

2.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，

所述冲洗喷头组件包括上喷头(5)和下喷头(6)，所述上喷头(5)位于所述待清洗晶片(3)的上方，所述下喷头(6)位于所述待清洗晶片(3)的下方。

3.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，

所述中间转移机构为转移机械手，所述转移机械手位于所述第一旋转座(1)和所述第二旋转座(4)之间。

4.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，

所述刷头组件包括移动机构和清洗刷头(7)，所述移动机构与所述清洗刷头(7)传动连接，用于驱动所述清洗刷头(7)沿第一方向移动以靠近所述待清洗晶片(3)，以及驱动所述清洗刷头(7)沿第二方向移动以由内向外或者由外向内洗刷所述待清洗晶片(3)。

5.根据权利要求4所述的清洗设备，其特征在于，

所述移动机构包括第一气缸、连接板和第二气缸，所述第一气缸的气缸杆沿所述第一方向设置，并与所述连接板连接，所述第二气缸设置在所述连接板上，所述第二气缸的气缸杆沿所述第二方向设置，并与所述清洗刷头(7)连接。

6.根据权利要求4所述的清洗设备，其特征在于，

所述移动机构为移动机械手，所述移动机械手具有多个自由度。

7.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，还包括：

上料转移机构(8)，所述上料转移机构(8)用于将所述待清洗晶片(3)由上料口(9)转移至所述第一旋转座(1)上。

8.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，还包括：

出料转移机构，所述出料转移机构用于将清洗后的所述待清洗晶片(3)由所述第二旋转座(4)转移至出料口(10)。

9.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，

所述有机清洗溶剂为丙酮。

10.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，

所述第一旋转座(1)和所述第二旋转座(4)上均设置有真空吸附机构，以将所述待清洗晶片(3)吸附。