[实用新型]一种加工超大尺寸单晶硅片线切机供液喷管的溢流结构

权利要求书

1.一种加工超大尺寸单晶硅片线切机供液喷管的溢流结构，其特征在于，包括：

喷管槽，用于存储液体；

进液喷管，用于输入液体；所述进液喷管设置于所述喷管槽上；

输液喷管，用于接受所述进液喷管输入的液体并将其输送至所述喷管槽中；所述输液喷管第一端与所述进液喷管连接而第二端伸入所述喷管槽中；

第一阻液板，用于降低所述输液喷管输出的液体流速；所述第一阻液板设置于所述喷管槽中，且与所述进液喷管分别设置于所述输液喷管两侧。

2.根据权利要求1所述的加工超大尺寸单晶硅片线切机供液喷管的溢流结构，其特征在于，所述喷管槽上对应所述进液喷管处设置有凹槽，所述进液喷管设置于所述凹槽中。

3.根据权利要求1所述的加工超大尺寸单晶硅片线切机供液喷管的溢流结构，其特征在于，还包括：第二阻液板，所述第二阻液板设置于所述喷管槽中，且与所述第一阻液板分别位于所述输液喷管两侧。

4.根据权利要求3所述的加工超大尺寸单晶硅片线切机供液喷管的溢流结构，其特征在于，所述第二阻液板与所述输液喷管侧壁紧贴。

5.根据权利要求4所述的加工超大尺寸单晶硅片线切机供液喷管的溢流结构，其特征在于，所述第二阻液板上与所述输液喷管侧壁紧贴部位设置有阻液曲面。

6.根据权利要求1所述的加工超大尺寸单晶硅片线切机供液喷管的溢流结构，其特征在于，所述输液喷管和所述第一阻液板之间由连接板连接。

7.根据权利要求1所述的加工超大尺寸单晶硅片线切机供液喷管的溢流结构，其特征在于，所述喷管槽上与所述进液喷管相对的一侧倾斜向下延伸设置有出液平面。