[实用新型]单晶硅生长炉的二次加料装置

说明书

本实用新型公开单晶硅生长炉的二次加料装置，包括石英筒，所述石英筒的底部设有石英锥，所述石英锥与所述石英筒围构成硅料盛放区，所述石英筒中穿设有与其同轴设置的连杆，所述连杆的底端连接所述石英锥，所述连杆用于在外力的作用下推拉所述石英锥以储料和卸料，其中，所述石英筒包括上筒和下筒，所述上筒和所述下筒可拆卸连接。本实用新型提供的二次加料装置易于维护，且维护成本低。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅的生产设备技术领域，尤其涉及一种单晶硅生长炉的二次加料装置。

背景技术

单晶硅生长炉是生产单晶硅的拉晶装置，理论上拉晶过程仅采用一次加料的方式即可，即在熔料前一次性地往石英坩埚内加满硅料。但是现有单晶硅生长炉大多设计有用以节能的导流筒，因此，石英坩埚的上方必须留有一定的容纳空间，除此之外加料空间还受限于石墨加热器的高度，若要通过单次加料使石英坩埚的装硅料量接近容量是难以实现的，这无疑会降低产量，提高生产成本。

石英二次加料器的应用，大大地提高了石英坩埚的利用率，其具有节约电能、氩气和时间的特点，是提高单产、降低成本的有效途径。现有的石英二次加料器一般由以下部件构成：石英管、石英法兰、设于石英管上方的不锈钢法兰盘、设于石英管下方的石英锥，以及连接于法兰盘和石英锥之间的不锈钢连杆等部件组成。其中，石英管为一体成型，在实际使用过程中，由于石英管的下方离热场较近，温度较高，且在承装硅料时，硅料下落容易划伤石英管下方的内壁，在石英管的下部也是主要的承重部，因此，相对于石英管的上部来说，石英管的下部更易受损，若下部发生损坏，则需要将整个石英二次加料器置入退火炉进行装炉维修，而石英二次加料器在维修时存在体积大，会降低退火炉的装炉数量，以及提高成本的问题；

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中所述的缺陷，从而提供一种单晶硅生长炉的二次加料装置，该二次加料装置易于维护，且维护成本低。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶硅生长炉的二次加料装置，包括：

石英筒，所述石英筒的底部设有石英锥，所述石英锥与所述石英筒围构成硅料盛放区，所述石英筒中穿设有与其同轴设置的连杆，所述连杆的底端连接所述石英锥，所述连杆用于在外力的作用下推拉所述石英锥以储料和卸料，其中，所述石英筒包括上筒和下筒，所述上筒和所述下筒可拆卸连接。

作为一种可实施的方式，所述上筒和所述下筒均为石英管，所述上筒的外侧设有耐高温玻璃胶层。

作为一种可实施的方式，所述石英筒外侧至少套设有一个丝扣法兰，所述上筒和所述下筒之间通过任一个所述丝扣法兰进行可拆卸连接，且各个所述丝扣法兰的凸缘盘均可为所述石英筒提供限位卡点。

作为一种可实施的方式，所述丝扣法兰为限位法兰，包括螺纹连接的第一法兰和第二法兰，其中，所述第一法兰和/或所述第二法兰的内壁与所述石英筒之间设有胶圈，当所述第一法兰和所述第二法兰螺纹连接时，所述胶圈受挤压产成摩擦力使所述丝扣法兰定位在所述石英筒上；

或者，所述丝扣法兰为连接法兰，包括第三法兰、第四法兰，以及分别与所述第三法兰和所述第四法兰螺纹连接的对丝，其中，所述对丝的内壁与所述石英筒之间设有胶圈，当所述第三法兰和所述第四法兰与所述对丝螺纹连接时，所述胶圈受挤压产成摩擦力使所述丝扣法兰定位在所述石英筒上。

作为一种可实施的方式，所述丝扣法兰为一个，当所述丝扣法兰为限位法兰时，所述第一法兰和所述第二法兰分别设于所述上筒外侧和所述下筒外侧；当所述丝扣法兰为连接法兰时，所述第三法兰和所述第四法兰分别设于所述上筒外侧和所述下筒外侧。

作为一种可实施的方式，所述丝扣法兰至少有两个，且至少包括一个连接法兰和一个限位法兰，所述连接法兰的第三法兰设于所述上筒外侧，所述连接法兰的第四法兰设于所述下筒外侧；所述限位法兰的第一法兰和第二法兰均设于所述上筒外侧。