[实用新型]一种用于自动键合机的载具

说明书

本实用新型涉及一种用于自动键合机的载具，其包括：L型支架、设置在所述支架上的调高装置、以及设置在所述调高装置上部且与所述调高装置可拆卸连接的夹具，所述夹具的上表面与待加工器件的形状相适配；所述支架包括水平板和竖直板；所述竖直板靠近所述水平板的一侧设有两条导轨；所述调高装置包括动力机构和与所述动力机构连接的升降块，所述升降块背部设有与两条所述导轨相配合的导条；所述夹具可拆卸设置在所述升降块的上部，所述动力机构用于驱动所述升降块上下运动，从而调节所述夹具的高度。本实用新型结构简单，设计合理，操作方便，可调节夹具的高度，能放置底部结构不同的待加工器件。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体的说是涉及一种用于自动键合机的载具。

背景技术

微电子组装中，引线键合作为一门复杂的组装和制造工艺技术，是提高通用微电子器件、专用集成电路、薄厚膜混合集成电路、多芯片组装、系统集成电路等微电子电路性能的关键技术。在键合过程中常用到自动键合机，将待加工的器件固定在夹具上，利用自动键合机的键合头对待加工器件进行键合，形成产品。但是，自动键合机的键合头的竖向行程距离是固定的，一般是15mm左右，高度较高或较低的待加工器件很难适应键合头的高度，需要多次手动调整夹具的位置；而且传统的夹具的上表面为平面，只能放置底部为平面的待加工器件，不能放置底部多样式、多结构的待加工器件。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种夹具的高度可调节，且夹具可更换，适应底部形状不同的待加工器件的用于自动键合机的载具。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种用于自动键合机的载具，其包括：L型支架、设置在所述支架上的调高装置、以及设置在所述调高装置上部且与所述调高装置可拆卸连接的夹具，所述夹具的上表面与待加工器件的形状相适配；

所述支架包括水平板和竖直板；所述竖直板靠近所述水平板的一侧设有两条导轨；

所述调高装置包括动力机构和与所述动力机构连接的升降块，所述升降块背部设有与两条所述导轨相配合的导条；所述夹具可拆卸设置在所述升降块的上部，所述动力机构用于驱动所述升降块上下运动，从而调节所述夹具的高度。

作为本实用新型的进一步改进，所述动力机构包括电机、螺纹杆、滑块和两根连接杆；所述螺纹杆水平设置，其一端与所述电机的输出轴连接，另一端与所述竖直板连接，所述滑块与所述螺纹杆螺纹连接，所述滑块的两侧壁上分别铰接两根所述连接杆的一端，两根所述连接杆的另一端与所述升降块的两侧壁铰接；

所述电机用于驱动所述螺纹杆旋转，使所述滑块沿远离或靠近所述竖直板的方向运动，通过所述连接杆将动力传递给所述升降块，带动所述升降块上下运动。

作为本实用新型的进一步改进，所述水平板的端部设有与所述竖直板平行的固定板，所述电机安装在所述固定板上。

作为本实用新型的进一步改进，所述水平板上部开设有凹槽，所述滑块底部设置有与所述凹槽相配合的凸台。

作为本实用新型的进一步改进，其还包括开关按钮，所述开关按钮用于控制所述电机的启停以及转动方向。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降块上部设有安装板，所述安装板与所述夹具通过螺栓连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降块远离所述竖直板的一侧设有加热块，所述加热块内部设有加热管。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹具的上表面为平面。

作为本实用新型的进一步改进，所述夹具的上表面设有与所述待加工器件相配合的沟槽。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降台底部设有让位槽。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：