[实用新型]一种用于自动键合机的载具有效
| 申请号: | 202021252397.0 | 申请日: | 2020-07-01 |
| 公开(公告)号: | CN213042873U | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
| 发明(设计)人: | 王志国 | 申请(专利权)人: | 石家庄军特电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/67 |
| 代理公司: | 石家庄德皓专利代理事务所(普通合伙) 13129 | 代理人: | 杨瑞龙 |
| 地址: | 050000 河北省石家庄*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 自动 键合机 | ||
1.一种用于自动键合机的载具,其特征在于,其包括:L型支架(1)、设置在所述支架(1)上的调高装置、以及设置在所述调高装置上部且与所述调高装置可拆卸连接的夹具(2),所述夹具(2)的上表面与待加工器件的形状相适配;
所述支架(1)包括水平板(3)和竖直板(4);所述竖直板(4)靠近所述水平板(3)的一侧设有两条导轨(5);
所述调高装置包括动力机构(6)和与所述动力机构(6)连接的升降块(7),所述升降块(7)背部设有与两条所述导轨(5)相配合的导条(8);所述夹具(2)可拆卸设置在所述升降块(7)的上部,所述动力机构(6)用于驱动所述升降块(7)上下运动,从而调节所述夹具(2)的高度。
2.根据权利要求1所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述动力机构(6)包括电机(9)、螺纹杆(10)、滑块(11)和两根连接杆(12);所述螺纹杆(10)水平设置,其一端与所述电机(9)的输出轴连接,另一端与所述竖直板(4)连接,所述滑块(11)与所述螺纹杆(10)螺纹连接,所述滑块(11)的两侧壁上分别铰接两根所述连接杆(12)的一端,两根所述连接杆(12)的另一端与所述升降块(7)的两侧壁铰接;
所述电机(9)用于驱动所述螺纹杆(10)旋转,使所述滑块(11)沿远离或靠近所述竖直板(4)的方向运动,通过所述连接杆(12)将动力传递给所述升降块(7),带动所述升降块(7)上下运动。
3.根据权利要求2所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述水平板(3)的端部设有与所述竖直板(4)平行的固定板(13),所述电机(9)安装在所述固定板(13)上。
4.根据权利要求2所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述水平板(3)上部开设有凹槽(14),所述滑块(11)底部设置有与所述凹槽(14)相配合的凸台(15)。
5.根据权利要求2所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,其还包括开关按钮,所述开关按钮用于控制所述电机(9)的启停以及转动方向。
6.根据权利要求1所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述升降块(7)上部设有安装板(16),所述安装板(16)与所述夹具(2)通过螺栓连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述升降块(7)远离所述竖直板(4)的一侧设有加热块(17),所述加热块(17)内部设有加热管。
8.根据权利要求1所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述夹具(2)的上表面为平面。
9.根据权利要求1所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述夹具(2)的上表面设有与所述待加工器件相配合的沟槽。
10.根据权利要求1所述的一种用于自动键合机的载具,其特征在于,所述升降块(7)底部设有让位槽(18)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





