[实用新型]一种硅片校正机构

权利要求书

1.一种硅片校正机构，其特征在于，包括：

底座；

两个推片件，均可滑动地设在所述底座上，两个所述推片件相对设置；

转动组件，设在所述底座上；

两个连接件，与两个所述推片件相对应，所述连接件连接在所述转动组件与所对应的所述推片件之间；

所述转动组件转动时，通过两个所述连接件带动两个所述推片件相互靠近或相互远离，两个所述推片件用于在相互靠近时对硅片夹持校正。

2.根据权利要求1所述的硅片校正机构，其特征在于，

所述转动组件包括：转动件和齿轮；

所述连接件为连接在所述推片件上的齿条，所述齿条与所述齿轮啮合，所述齿条沿两个所述推片件相对的方向设置。

3.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，两个所述推片件上的齿条相互平行，分别位于所述齿轮的两侧。

4.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，所述推片件包括：

移动部，滑动设在所述底座上，连接所述齿条；

推片部，设在所述移动部上，并高于所述移动部，所述推片部用于校正硅片。

5.根据权利要求4所述的硅片校正机构，其特征在于，所述推片部包括横杆部、设在所述横杆部上的若干校正部、连接在所述横杆部与所述移动部之间的连接部，两个所述推片部的横杆部平行设置，各所述校正部沿所述横杆部的长度方向排列。

6.根据权利要求4所述的硅片校正机构，其特征在于，所述移动部上开设有用于安装所述齿条的安装孔，所述齿条上开设有与所述安装孔对应的齿条孔，固定件穿过所述安装孔和齿条孔将所述齿条安装在所述移动部上。

7.根据权利要求6所述的硅片校正机构，其特征在于，所述移动部上至少开设两个所述安装孔，各所述安装孔沿两个所述推片件相对的方向排列设置。

8.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，所述齿轮与所述推片件位于所述底座的同一侧。

9.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，所述齿条与所述推片件分别设在所述底座的两侧，所述底座上开设有滑槽，所述齿条上形成有通过所述滑槽连接所述推片件的连接凸起。

10.根据权利要求1所述的硅片校正机构，其特征在于，所述转动组件包括：转动件和转盘，所述转盘与所述推片件位于所述底座的同一侧；

所述连接件为连接在所述推片件上的连杆，所述连杆连接在所述转盘上，两个所述连杆在所述转盘上的连接点关于所述转盘的轴心对称。