[实用新型]一种横式扩散炉

说明书

本实用新型涉及扩散炉技术领域，且公开了一种横式扩散炉，解决了一般的横式扩散炉在安装时，由于不同扩散炉的尺寸不同，故需要特定的底座进行安装的问题，其包括底座，所述底座的内部对称开设有滑槽；本实用新型，通过设置的螺杆、齿轮、齿条和滑块等的配合使用，当需要调节滚轮的位置时，首先转动转杆，转杆带动螺杆转动，螺杆通过螺纹的方式带动两个齿轮同时转动，齿轮通过啮合的方式带动两个齿条相向运动，两个齿条带动滑块在滑槽内滑动，滑块通过连接块带动支座上的滚轮移动，使两个滚轮相向运动，运动到适合的距离后停止即可，然后即可将炉体安装在滚轮顶端，从而能够对不同尺寸的炉体进行安装，应用范围较广。

技术领域

本实用新型属于扩散炉技术领域，具体为一种横式扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

一般的横式扩散炉在安装时，由于不同扩散炉的尺寸不同，故需要特定的底座进行安装，操作较为繁琐。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种横式扩散炉，有效的解决了一般的横式扩散炉在安装时，由于不同扩散炉的尺寸不同，故需要特定的底座进行安装，操作较为繁琐的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种横式扩散炉，包括底座，所述底座的内部对称开设有滑槽，滑槽的中心处转动安装有齿轮，齿轮上对称啮合连接有齿条，齿条的一端固定连接有滑块，滑块滑动安装于滑槽内部，滑块的顶端固定连接有连接块，连接块的顶端固定连接有支座，支座的顶端转动连接有滚轮，滚轮的顶端安装有炉体，底座的内部还开设有通槽，通槽的内部安装有驱动机构。

优选的，所述驱动机构包括螺杆，螺杆转动安装于通槽的内部，螺杆与对应的齿轮啮合连接。

优选的，所述螺杆的两端均固定连接有转杆，转杆上套接有防滑套。

优选的，所述底座的四个边角处均固定连接有固定块，固定块的中部开设有安装孔。

优选的，所述滑块的内部开设有通孔，通孔的尺寸与齿条的尺寸相匹配。

优选的，所述通槽位于滑槽的顶端，且通槽与滑槽相对垂直设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

在工作中，通过设置的螺杆、齿轮、齿条和滑块等的配合使用，当需要调节滚轮的位置时，首先转动转杆，转杆带动螺杆转动，螺杆通过螺纹的方式带动两个齿轮同时转动，齿轮通过啮合的方式带动两个齿条相向运动，两个齿条带动滑块在滑槽内滑动，滑块通过连接块带动支座上的滚轮移动，使两个滚轮相向运动，运动到适合的距离后停止即可，然后即可将炉体安装在滚轮顶端，从而能够对不同尺寸的炉体进行安装，操作简单，应用范围较广。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的内部结构示意图；

图3为本实用新型的螺杆安装结构示意图；

图4为本实用新型的滑块内部结构示意图；

图中：1、底座；2、滑槽；3、齿轮；4、齿条；5、滑块；6、连接块；7、支座；8、滚轮；9、炉体；10、螺杆；11、转杆；12、通槽；13、固定块；14、安装孔；15、通孔。

具体实施方式