[实用新型]一种横式扩散炉有效
申请号: | 202021200493.0 | 申请日: | 2020-06-26 |
公开(公告)号: | CN212408182U | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 刘明利;胡思健 | 申请(专利权)人: | 青岛赛尔微电子有限公司 |
主分类号: | F16M13/00 | 分类号: | F16M13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 | ||
1.一种横式扩散炉,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的内部对称开设有滑槽(2),滑槽(2)的中心处转动安装有齿轮(3),齿轮(3)上对称啮合连接有齿条(4),齿条(4)的一端固定连接有滑块(5),滑块(5)滑动安装于滑槽(2)内部,滑块(5)的顶端固定连接有连接块(6),连接块(6)的顶端固定连接有支座(7),支座(7)的顶端转动连接有滚轮(8),滚轮(8)的顶端安装有炉体(9),底座(1)的内部还开设有通槽(12),通槽(12)的内部安装有驱动机构。
2.根据权利要求1所述的一种横式扩散炉,其特征在于:所述驱动机构包括螺杆(10),螺杆(10)转动安装于通槽(12)的内部,螺杆(10)与对应的齿轮(3)啮合连接。
3.根据权利要求2所述的一种横式扩散炉,其特征在于:所述螺杆(10)的两端均固定连接有转杆(11),转杆(11)上套接有防滑套。
4.根据权利要求1所述的一种横式扩散炉,其特征在于:所述底座(1)的四个边角处均固定连接有固定块(13),固定块(13)的中部开设有安装孔(14)。
5.根据权利要求1所述的一种横式扩散炉,其特征在于:所述滑块(5)的内部开设有通孔(15),通孔(15)的尺寸与齿条(4)的尺寸相匹配。
6.根据权利要求1所述的一种横式扩散炉,其特征在于:所述通槽(12)位于滑槽(2)的顶端,且通槽(12)与滑槽(2)相对垂直设置。
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