[实用新型]一种基板作业平台

说明书

本实用新型涉及半导体装备技术领域，公开了一种基板作业平台，该基板作业平台包括：架台组件，架台组件包括机架和支撑盘；基板承载组件，基板承载组件包括基板承载平台，基板承载平台安装于支撑盘；基板承载平台背离支撑盘的一侧形成承载面；至少一个龙门组件，每个龙门组件沿平行于承载面的第一方向可移动地安装于支撑盘；每个龙门组件上设至少一个工作组件，且至少一个工作组件沿平行于承载面的第二方向可移动地安装于龙门组件；每个工作组件与龙门组件间可拆卸连接；每个龙门组件上还设有驱动部，驱动部用于驱动工作组件动作；设于支撑盘、用于驱动龙门组件动作的驱动机构。上述基板作业平台通过装配不同工作组件，可以实现平台的多功能作业。

技术领域

本实用新型涉及半导体装备技术领域，特别涉及一种基板作业平台。

背景技术

基板在生产制造过程中，需要在作业平台上进行检测、修复、组装或者打印等操作。基于基板的特性，现有半导体装备技术领域中用于基板的工作平台因为精度要求较高，现有高精度基板作业平台仅能实现只能实现打印或检测等单一功能。

因此，急需一种可以实现多种功能的基板作业平台。

实用新型内容

本实用新型公开了一种基板作业平台，上述基板作业平台通过装配不同工作组件，可以实现平台的不同作业功能，从而实现平台的多功能。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种基板作业平台，包括：

架台组件，所述架台组件包括机架和安装于所述机架顶部的支撑盘；

基板承载组件，所述基板承载组件包括基板承载平台，所述基板承载平台安装于所述支撑盘；所述基板承载平台背离所述支撑盘的一侧形成用于承载基板的承载面；

至少一个龙门组件，所述至少一个龙门组件中的每个龙门组件包括龙门架，且所述每个龙门组件沿第一方向可移动地安装于所述支撑盘，所述第一方向垂直于所述龙门架的延伸方向、且平行于所述承载面；所述每个龙门组件上设有至少一个工作组件，且所述至少一个工作组件沿平行于所述承载面的第二方向可移动地安装于所述每个龙门组件，所述第二方向与所述第一方向垂直；所述至少一个工作组件中的每个工作组件与所述龙门组件间可拆卸连接；每个所述龙门组件上还设有驱动部，所述驱动部用于驱动所述工作组件动作；

驱动组件，所述驱动组件设于所述支撑盘，且用于驱动所述至少一个龙门组件在第一方向上移动。

上述基板作业平台中，基板作业平台包括架台组件，该架台组件包括机架和安装于机架的支撑盘，支撑盘上安装有基板承载组件和至少一个龙门组件。具体来说，基板承载组件包括基板承载平台，基板承载平台背离支撑盘的一侧形成用于承载基板的承载面；至少一个龙门组件中的每个龙门组件在支撑盘上沿第一方向可以移动，其中，第一方向垂直于龙门架的延伸方向、且平行于承载面。且至少一个龙门组件中的每个龙门组件上安装有沿第二方向可移动的工作组件。值得注意的是，第二方向也平行于承载面，且第二方向与第一方向垂直。在具体设置每个龙门组件上的工作组件数量时，可设置工作组件的数量为至少一个。当使用上述基板作业平台对基板作业时，由于每个工作组件与龙门组件之间可拆卸连接，则可以根据需求设置工作组件的类型，对置于承载面上的基板进行操作。应理解，在使用上述基板作业平台时，可以控制驱动组件驱动龙门组件沿第一方向移动，以及，控制驱动部驱动工作组件沿第二方向移动。在实际使用上述基板作业平台过程中，当工作组件在沿第二方向移动时，配合龙门组件沿第一方向的移动，可以实现工作组件对置于承载面上基板在第一方向与第二方向形成平面内的所有区域的操作。

本实用新型提供的基板作业平台可以在每个龙门组件上设置不同的工作组件，实现对基板的不同操作。本实用新型提供的基板作业平台不再局限于单一的操作内容，可将多种功能集成于同一基板作业平台，实现了基板作业平台的多功能，从而可降低生产成本。