[实用新型]一种基板作业平台

权利要求书

1.一种基板作业平台，其特征在于，包括：

架台组件，所述架台组件包括机架和安装于所述机架顶部的支撑盘；

基板承载组件，所述基板承载组件包括基板承载平台，所述基板承载平台安装于所述支撑盘；所述基板承载平台背离所述支撑盘的一侧形成用于承载基板的承载面；

至少一个龙门组件，所述至少一个龙门组件中的每个龙门组件包括龙门架，且所述每个龙门组件沿第一方向可移动地安装于所述支撑盘，所述第一方向垂直于所述龙门架的延伸方向、且平行于所述承载面；所述每个龙门组件上设有至少一个工作组件，且所述至少一个工作组件沿平行于所述承载面的第二方向可移动地安装于所述每个龙门组件，所述第二方向与所述第一方向垂直；所述至少一个工作组件中的每个工作组件与所述每个龙门组件间可拆卸连接；所述每个龙门组件上还设有驱动部，所述驱动部用于驱动所述工作组件动作；

驱动组件，所述驱动组件设于所述支撑盘，且用于驱动所述至少一个龙门组件在第一方向上移动。

2.根据权利要求1所述的基板作业平台，其特征在于，还包括用于对置于所述基板承载平台上的基板进行预定位的预定位组件，所述预定位组件安装于所述支撑盘、且位于所述支撑盘与所述基板承载平台之间；所述基板承载平台上形成有供所述预定位组件通过的通槽；所述预定位组件具有初始工位、待料工位和夹紧工位；当所述预定位组件处于初始工位时，所述预定位组件置于所述支撑盘与所述基板承载平台之间；当所述预定位组件处于待料工位时，所述预定位组件自所述通槽部分探出至所述基板承载平台背离所述支撑盘一侧；当所述预定位组件处于夹紧工位时，所述预定位组件夹紧待对位的基板，以对所述基板进行对位。

3.根据权利要求2所述的基板作业平台，其特征在于，所述预定位组件包括两个沿第一方向相对设置、以在第一方向上对待对位的基板进行对位的第一预定位组；还包括两个沿第二方向相对设置、以在第二方向上对待对位的基板进行对位的第二预定位组。

4.根据权利要求1所述的基板作业平台，其特征在于，还包括用于对所述基板承载平台进行支撑的支撑调节组件，所述支撑调节组件安装于所述支撑盘、且位于所述支撑盘与所述基板承载平台之间；所述基板承载平台朝向所述支撑盘的一侧表面形成有用于使所述支撑调节组件进行支撑的支撑点。

5.根据权利要求1所述的基板作业平台，其特征在于，所述基板承载平台还包括用于承载基板的气浮组件，所述气浮组件具有吹气状态和吸气状态；当所述气浮组件处于吹气状态，所述气浮组件吹出气体用于承载基板；当所述气浮组件处于吸气状态，所述基板承载平台的承载面用于承载基板。

6.根据权利要求1所述的基板作业平台，其特征在于，还包括用于在所述基板承载平台承载基板之前、对所述基板进行预支撑的顶杆组件，所述顶杆组件包括可沿垂直所述基板承载平台方向移动地安装于所述支撑盘的顶杆组；所述基板承载平台上形成有多个供所述顶杆组进出的通孔；所述顶杆组具有收起工位和顶出工位；当所述顶杆组处于收起工位时，所述顶杆组收纳至所述支撑盘与所述基板承载平台之间；当所述顶杆组处于顶出工位时，所述顶杆组自所述通孔探出至所述基板承载平台背离所述支撑盘一侧。

7.根据权利要求6所述的基板作业平台，其特征在于，所述顶杆组包括多个顶杆，所述多个顶杆中的部分顶杆设有功能组件。

8.根据权利要求1所述的基板作业平台，其特征在于，还包括用于使所述基板承载平台绕垂直所述承载面的轴心线旋转的旋转装置，所述旋转装置安装于所述支撑盘，且所述旋转装置的输出端与所述基板承载平台连接，以带动所述基板承载平台绕所述轴心线旋转。

9.根据权利要求8所述的基板作业平台，其特征在于，还包括用于定义所述基板承载平台坐标系的原点相机，所述原点相机安装于所述支撑盘，所述基板承载平台上设置有用于使所述原点相机进行原点标注的校准部；当所述原点相机的聚焦中心聚焦于所述校准部时，所述原点相机配合形成坐标系，所述坐标系以所述校准部为原点、以所述第一方向为X轴、以所述第二方向为Y轴、以垂直于所述承载平台的方向为Z轴。