[实用新型]皮拉尼真空计连接装置和炉管机台

说明书

本实用新型涉及一种皮拉尼真空计连接装置和炉管机台。所述装置包括：设置有管状传感器的皮拉尼真空计、炉管、弯管和紧固件；所述管状传感器通过所述紧固件与弯管的一端连通；所述弯管的另一端通过所述紧固件与炉管的管口连通。本实用新型的皮拉尼真空计连接装置和炉管机台，通过在皮拉尼真空计与炉管的管口之间增加弯管，使得皮拉尼真空计与炉管的管道形成夹角，生产过程中炉管内通入的气体优先在弯管内形成沉积，有效的改善了皮拉尼真空计易堵塞的问题，延长了皮拉尼真空计的使用寿命，降低了生产成本。

技术领域

本实用新型属于管线连接技术领域，尤其涉及一种皮拉尼真空计连接装置和炉管机台。

背景技术

在半导体制造工艺中，炉管设备通过在管道内通入气体以制备沉积材料层，管道内气体的压力是半导体制造过程中重要的参数。目前业界普遍采用皮拉尼真空计测量炉管内通入气体的压力。

请参照附图1所示，现有技术中皮拉尼真空计1的感应探头是直接与炉管2连接，具体的连接方式为将皮拉尼真空计固定在管道的管口。经过长时间的使用发现，现有的皮拉尼真空计的连接方式存在一些不足之处，具体如下：一方面，在炉管机台的使用过程中，炉管的管道中会通入气体，随着时间的增长，炉管内的气体会在感应探头上形成沉积，使得皮拉尼真空计的感应探头堵塞，进而影响到压力测量的准确性，在使用维护上还需要工作人员定期对堵塞情况进行检查和清洗；另一方面，采用此种方式时皮拉尼真空计通常在安装三到六个月后就需要更换，大大增加了生产成本。

实用新型内容

有鉴于此，有必要针对以上技术问题，提出一种即方便皮拉尼真空计测量又不易堵塞的皮拉尼真空计连接装置和炉管机台。

根据本实用新型的一方面，提供了皮拉尼真空计连接装置，所述装置包括：

设置有管状传感器的皮拉尼真空计、炉管、弯管和紧固件；

所述管状传感器通过所述紧固件与弯管的一端连通；

所述弯管的另一端通过所述紧固件与炉管的管口连通。

在其中一个实施例中，所述弯管具有至少一个弯折部。

在其中一个实施例中，所述弯管为L型弯管，L型弯管的长边管口与所述管状传感器连通，L型弯管的短边管口与炉管的管口连通。

在其中一个实施例中，其特征在于，所述L型弯管的长边为100毫米，所述L型弯管的短边为40毫米。

在其中一个实施例中，所述紧固件包括第一管道卡箍和第二管道卡箍，且所述第一管道卡箍和所述第二管道卡箍具有相同的结构；

所述第一管道卡箍用于固定所述管状传感器与L型弯管的长边管口；

所述第二管道卡箍用于固定炉管的管口与L型弯管的短边管口。

在其中一个实施例中，所述第一管道卡箍和第二管道卡箍具有相同的结构，所述第一管道卡箍抱包括：上卡环、下卡环和固定螺栓；

所述上卡环和下卡环呈轴对称，上卡环的一端与下卡环的一端铰接，上卡环的另一端以与下卡环的另一端通过固定螺栓连接。

在其中一个实施例中，所述弯管的直径与炉管的管口直径相同。

在其中一个实施例中，所述弯管为316不锈钢材质。

根据本实用新型的另一方面，提供了炉管机台，所述炉管机台包括以上所述的皮拉尼真空计连接装置。

在其中一个实施例中，炉管的管口通过紧固件与所述弯管的另一端连通。