[实用新型]皮拉尼真空计连接装置和炉管机台有效
| 申请号： | 202021187279.6 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN212030813U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘晨成 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12;H01L21/67;C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 皮拉尼 真空计 连接 装置 炉管 机台 | ||
1.一种皮拉尼真空计连接装置，其特征在于，所述装置包括：设置有管状传感器的皮拉尼真空计、炉管、弯管和紧固件；
所述管状传感器通过所述紧固件与弯管的一端连通；
所述弯管的另一端通过所述紧固件与炉管的管口连通。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述弯管具有至少一个弯折部。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述弯管为L型弯管，L型弯管的长边管口与所述管状传感器连通，L型弯管的短边管口与炉管的管口连通。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述L型弯管的长边为100毫米，所述L型弯管的短边为40毫米。
5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述紧固件包括第一管道卡箍和第二管道卡箍，且所述第一管道卡箍和所述第二管道卡箍具有相同的结构；
所述第一管道卡箍用于固定所述管状传感器与L型弯管的长边管口；
所述第二管道卡箍用于固定炉管的管口与L型弯管的短边管口。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一管道卡箍抱包括：上卡环、下卡环和固定螺栓；
所述上卡环和下卡环相对设置，上卡环的一端与下卡环的一端铰接，上卡环的另一端以与下卡环的另一端通过固定螺栓连接。
7.根据权利要求1-6任一项所述的装置，其特征在于，所述弯管的直径与炉管的管口直径相同。
8.根据权利要求1-6任一项所述的装置，其特征在于，所述弯管为316不锈钢材质。
9.一种炉管机台，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的皮拉尼真空计连接装置。
10.根据权利要求9所述的炉管机台，其特征在于，炉管的管口通过紧固件与所述弯管的另一端连通。
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