[实用新型]一种半导体设备用滤风整流装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体设备用滤风整流装置，其结构包括整流箱、整流腔、入风口、滤风网、出风口、整流叶和夹紧机构，本实用新型的一种半导体设备用滤风整流装置，通过在整流箱底部设置了夹紧机构，转动控制旋钮使转轴外壁的螺纹槽与内螺纹块配合转动，内螺纹块带动连接块底部的夹紧块向右滑动，即可将滤风整流装置拆卸，清洗整流腔内壁吸附的粉尘，避免因整流腔内壁粉尘堆积而影响滤风整流效果。

技术领域

本实用新型是一种半导体设备用滤风整流装置，属于半导体生产辅助装置领域。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，其广泛应用于集成电路、通信系统和光伏发电等领域，由于半导体生产要求严格、过程复杂，生产过程中常因设备内部风流量的不均匀性而出现产能低、合格率低的问题，而滤风整流装置则可以快速满足生产工艺需求，提高产品的合格率。

现有技术的半导体设备用滤风整流装置，由于气流中的粉尘易吸附于整流腔内壁，需定期将装置拆卸清洗粉尘，以保证其滤风整流效果，但由于装置通常以螺纹连接为主要安装方式，难以将其快速拆卸清洗及更换。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种半导体设备用滤风整流装置，以解决现有技术的半导体设备用滤风整流装置，由于气流中的粉尘易吸附于整流腔内壁，需定期将装置拆卸清洗粉尘，以保证其滤风整流效果，但由于装置通常以螺纹连接为主要安装方式，难以将其快速拆卸清洗及更换的问题。

(二)技术方案

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种半导体设备用滤风整流装置，包括整流箱、整流腔、入风口、滤风网、出风口、整流叶和夹紧机构，所述整流箱内设置有整流腔，所述整流箱左侧中部开设有入风口，且入风口内壁嵌有滤风网，所述整流箱后端左侧开设有出风口，且整流箱内壁纵向安装有整流叶，所述夹紧机构设置于整流箱底部，所述夹紧机构包括第一固定块、转轴槽、第二固定块、转轴、转珠、控制旋钮、螺纹槽、内螺纹块和夹紧元件，所述第一固定块固定于整流箱底部右侧，且第一固定块内左侧开设有转轴槽，所述第二固定块固定于整流箱底部左侧，所述转轴外壁右侧通过转珠与转轴槽内壁转动连接，且转轴左侧横向贯穿第二固定块中部与控制旋钮右侧固定连接，所述螺纹槽横向环绕于转轴外壁右侧，且转轴外壁右侧与内螺纹块内壁螺纹连接，所述夹紧元件设置于整流箱底部前后两端。

进一步地，所述夹紧元件包括固定杆、连接块、导杆、限位块和夹紧块，所述固定杆内侧固定于内螺纹块前后两端中部，且固定杆外侧贯穿连接块内底部，所述导杆内侧左端焊接于第二固定块前后两端中部，且导杆顶部左右两侧固定有限位块，所述夹紧块固定于连接块底部。

进一步地，所述夹紧块内侧贴合有橡胶防滑层，且橡胶防滑层表面开设有防滑纹路。

进一步地，所述夹紧元件设置有一对，且对称分布于转轴前后两端。

进一步地，所述转珠数量为四颗，且转珠的截面直径为2mm。

进一步地，所述导杆截面直径为1cm，且导杆与转轴间所成的夹角为30°。

进一步地，所述整流叶设置有五片，且横向等距安装于出风口处。

进一步地，所述转轴截面直径为3cm，且转轴外壁中部固定有限位环。

进一步地，所述转轴和固定杆均为钨钢材质。

进一步地，所述控制旋钮为聚乙烯材质。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体设备用滤风整流装置，具备以下有益效果：