[实用新型]一种半导体设备用滤风整流装置

权利要求书

1.一种半导体设备用滤风整流装置，包括整流箱(1)，所述整流箱(1)内设置有整流腔(2)，所述整流箱(1)左侧中部开设有入风口(3)，且入风口(3)内壁嵌有滤风网(4)，所述整流箱(1)后端左侧开设有出风口(5)，且整流箱(1)内壁纵向安装有整流叶(6)；

其特征在于：还包括夹紧机构(7)，所述夹紧机构(7)设置于整流箱(1)底部。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述夹紧机构(7)包括第一固定块(71)、转轴槽(72)、第二固定块(73)、转轴(74)、转珠(75)、控制旋钮(76)、螺纹槽(77)、内螺纹块(78)和夹紧元件(79)，所述第一固定块(71)固定于所述整流箱(1)底部右侧，且所述第一固定块(71)内左侧开设有所述转轴槽(72)，所述第二固定块(73)固定于所述整流箱(1)底部左侧，所述转轴(74)外壁右侧通过所述转珠(75)与所述转轴槽(72)内壁转动连接，且所述转轴(74)左侧横向贯穿所述第二固定块(73)中部与所述控制旋钮(76)右侧固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述螺纹槽(77)横向环绕于所述转轴(74)外壁右侧，且所述转轴(74)外壁右侧与所述内螺纹块(78)内壁螺纹连接，所述夹紧元件(79)设置于整流箱(1)底部前后两端。

4.根据权利要求3所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述夹紧元件(79)包括固定杆(791)、连接块(792)、导杆(793)、限位块(794)和夹紧块(795)，所述固定杆(791)内侧固定于内螺纹块(78)前后两端中部，且所述固定杆(791)外侧贯穿所述连接块(792)内底部，所述导杆(793)内侧左端焊接于所述第二固定块(73)前后两端中部，且所述导杆(793)顶部左右两侧固定有所述限位块(794)，所述夹紧块(795)固定于所述连接块(792)底部。

5.根据权利要求4所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述夹紧块(795)内侧贴合有橡胶防滑层，且所述橡胶防滑层表面开设有防滑纹路。

6.根据权利要求3所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述夹紧元件(79)设置有一对，且对称分布于所述转轴(74)前后两端。

7.根据权利要求3所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述转珠(75)数量为四颗，且所述转珠(75)的截面直径为2mm。

8.根据权利要求4所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述导杆(793)截面直径为1cm，且导杆(793)与所述转轴(74)间所成的夹角为30°。

9.根据权利要求3所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述整流叶(6)设置有五片，且横向等距安装于出所述风口(5)处。

10.根据权利要求3所述的一种半导体设备用滤风整流装置，其特征在于：所述转轴(74)截面直径为3cm，且所述转轴(74)外壁中部固定有限位环。