[实用新型]一种晶圆运输机械臂

权利要求书

1.一种晶圆运输机械臂，其特征在于，包括：

基座(1)；

旋转底座(2)，沿上下方向安装在所述基座(1)的顶端后侧；

控制箱(3)，安装在所述旋转底座(2)的外壁，所述控制箱(3)和旋转底座(2)电性连接；

连接杆(4)，沿左右方向安装在所述旋转底座(2)的输出端；

伸缩机构(5)，沿左右方向安装在所述连接杆(4)的顶端右侧；

升降机构(6)，沿上下方向安装在所述伸缩机构(5)的右侧；

托举机构(7)，安装在所述升降机构(6)的底端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆运输机械臂，其特征在于：所述伸缩机构(5)包括：

伸缩机构壳体(51)，沿左右方向安装在所述旋转底座(2)的顶端右侧，所述伸缩机构壳体(51)的内腔右侧与外部相贯通；

导轨(52)，沿左右方向安装在所述伸缩机构壳体(51)的内腔底端中心位置；

齿条杆(53)，沿左右方向插接在所述导轨(52)的内腔顶端，所述齿条杆(53)的右侧延伸出伸缩机构壳体(51)的内腔；

安装板(54)，安装在所述齿条杆(53)的右侧；

第一电机(55)，沿前后方向安装在所述伸缩机构壳体(51)的内腔右侧后端，所述第一电机(55)和控制箱(3)电性连接；

齿轮(56)，螺钉连接在所述第一电机(55)的输出端，所述齿轮(56)和齿条杆(53)相啮合。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆运输机械臂，其特征在于：所述升降机构(6)包括：

升降机构壳体(61)，沿上下方向安装在所述安装板(54)的右侧；

第一丝杠螺母(62)，沿上下方向通过轴承转动连接在所述升降机构壳体(61)的内腔底端中心位置，所述轴承的内环与升降机构壳体(61)的外壁过盈配合，且轴承的外环与升降机构壳体(61)的内壁固定连接，所述第一丝杠螺母(62)的底端延伸出升降机构壳体(61)的下表面；

蜗轮(63)，过盈配合在所述第一丝杠螺母(62)的外壁；

第二电机(64)，沿左右方向设置在所述升降机构壳体(61)的内壁，所述第二电机(64)和控制箱(3)电性连接；

多线蜗杆(65)，沿左右方向螺钉连接在所述第二电机(64)的输出端，所述多线蜗杆(65)和蜗轮(63)相啮合；

第一丝杠(66)，沿上下方向螺接在所述第一丝杠螺母(62)的内腔，所述第一丝杠(66)的上下两端分别延伸出升降机构壳体(61)和第一丝杠螺母(62)的外壁；

限位弹簧(67)，所述限位弹簧(67)的数量为两个，两个所述限位弹簧(67)以升降机构壳体(61)轴心为顶点一端分别固定安装在升降机构壳体(61)的底端前后两侧。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆运输机械臂，其特征在于：所述托举机构(7)包括：

托举机构壳体(71)，沿前后方向通过轴承转动连接在所述第一丝杠(66)的底端，所述轴承的内环与第一丝杠(66)的外壁过盈配合，且轴承的外环与托举机构壳体(71)的外壁固定连接，前后两个所述限位弹簧(67)的另一端分别与托举机构壳体(71)的顶端前后两侧固定连接；

第三电机(72)，沿前后方向设置在所述托举机构壳体(71)的右侧后端，所述第三电机(72)的输出端延伸进托举机构壳体(71)的内腔，所述第三电机(72)和控制箱(3)电性连接；

第二丝杠(73)，沿前后方向螺钉连接在所述第三电机(72)的输出端，所述第二丝杠(73)的外壁前后两侧螺纹为正反螺纹；

第二丝杠螺母(74)，所述第二丝杠螺母(74)的数量为两个，两个所述第二丝杠螺母(74)分别螺接在第二丝杠(73)外壁前后两侧；

限位槽(75)，沿前后方向开设在所述托举机构壳体(71)的内腔右侧，所述限位槽(75)的内腔左右两侧分别与托举机构壳体(71)的内腔和外壁相贯通，所述第二丝杠螺母(74)的外壁右侧与限位槽(75)的内腔适配插接；

托板(76)，所述托板(76)的数量为两个，两个所述托板(76)分别沿左右方向设置在前后两个第二丝杠螺母(74)的右侧。