[实用新型]一种晶圆运输机械臂

说明书

本实用新型公开了一种晶圆运输机械臂，包括：基座、旋转底座、控制箱、连接杆、伸缩机构、升降机构和托举机构；旋转底座沿上下方向安装在所述基座的顶端后侧；控制箱安装在所述旋转底座的外壁，所述控制箱和旋转底座电性连接；连接杆沿左右方向安装在所述旋转底座的输出端；伸缩机构沿左右方向安装在所述连接杆的顶端右侧；升降机构沿上下方向安装在所述伸缩机构的右侧；托举机构安装在所述升降机构的底端。该晶圆运输机械臂，可对晶圆运输过程中实现冷却，并根据需要即时调整晶圆运输范围，操作简单，并且可对不同规格尺寸晶圆进行运输，提高装置适用性。

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域，具体为一种晶圆运输机械臂。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆在芯片生产过程中十分重要；

现有技术领域内，授权公告号为CN209496828U的实用新型涉及一种机械手臂及晶圆处理设备，其中所述机械手臂包括：手臂本体，设置有晶圆放置位，用于放置晶圆；冷却管，安装至所述手臂本体，并铺设至所述晶圆放置位上表面，用于冷却所述晶圆放置位上表面放置的晶圆；冷却液源，用于提供冷却液，并连通至所述冷却管。上述机械手臂及晶圆处理设备包括设置在手臂本体上的冷却管，在使用机械手臂传送或取拿晶圆的过程中，就可以实现对晶圆的冷却，简单方便，不用再使用单独的冷却站就可以实现对晶圆的冷却，大大缩短了晶圆的工艺时间，增加了机台的产能，但是该装置机械臂移动范围有限，无法根据需要即时进行调整，并且移动不同规格的晶圆时稳定性较差，适用性较差，针对上述问题，我们提出一种晶圆运输机械臂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆运输机械臂，以至少解决现有技术的装置机械臂移动范围有限，无法根据需要即时进行调整，并且移动不同规格的晶圆时稳定性较差，适用性较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆运输机械臂，包括：

基座；

旋转底座，沿上下方向安装在所述基座的顶端后侧；

控制箱，安装在所述旋转底座的外壁，所述控制箱和旋转底座电性连接；

连接杆，沿左右方向安装在所述旋转底座的输出端；

伸缩机构，沿左右方向安装在所述连接杆的顶端右侧；

升降机构，沿上下方向安装在所述伸缩机构的右侧；

托举机构，安装在所述升降机构的底端。

优选的，所述伸缩机构包括：伸缩机构壳体、导轨、齿条杆、安装板、第一电机和齿轮；伸缩机构壳体沿左右方向安装在所述旋转底座的顶端右侧，所述伸缩机构壳体的内腔右侧与外部相贯通；导轨沿左右方向安装在所述伸缩机构壳体的内腔底端中心位置；齿条杆沿左右方向插接在所述导轨的内腔顶端，所述齿条杆的右侧延伸出伸缩机构壳体的内腔；安装板安装在所述齿条杆的右侧；第一电机沿前后方向安装在所述伸缩机构壳体的内腔右侧后端，所述第一电机和控制箱电性连接；齿轮螺钉连接在所述第一电机的输出端，所述齿轮和齿条杆相啮合。