[实用新型]一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具

说明书

本实用新型涉及工装基底夹具技术领域，具体而言，涉及一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，包括圆环支架、基底夹具和电机，所述圆环支架与镀膜机真空腔的内壁固定连接，所述基底夹具与所述圆环支架转动连接，所述电机的输出端设有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述圆环支架同轴；所述基底夹具的一端设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的轴向与所述基底夹具的载物面平行，且所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。通过电机带动锥齿轮转动,进而带动基底夹具在圆环支架上翻转,使得基底夹具上的基底翻转180°,便于对基底的另一板面进行镀膜,在操作时,无需将基底夹具和基底从真空腔中拿出进行翻面,也无需进行两次抽真空,简化操作过程,提高镀膜效率。

技术领域

本实用新型涉及工装基底夹具技术领域，具体而言，涉及一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具。

背景技术

物理气相沉积，即PVD镀膜，在真空条件下，采用物理的方法将固体或液体气化成气态原子、分子或离子，在低压气体的作用下，气化的原子、分子或离子在基体的表面沉积，形成薄膜。

在对基底进行镀膜时，通常会使用基底夹具将基底固定，再将固定好的基底放置到镀膜机的真空腔中进行镀膜。目前，用于固定基底夹具功能较为单一，当需要对基底进行两面镀膜时，需将基底夹具和基底从真空腔中取出，将基底翻转后，再进行第二次镀膜，需进行两次的抽真空，操作繁琐。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，在电机的输出端设置第一锥齿轮，在基底夹具上设置第二锥齿轮，通过电机带动基底夹具翻转,简化操作过程。

本实用新型提供了一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，包括圆环支架、基底夹具和电机，所述圆环支架与镀膜机真空腔的内壁固定连接，所述基底夹具与所述圆环支架转动连接，所述电机的输出端设有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述圆环支架同轴；所述基底夹具的一端设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的轴向与所述基底夹具的载物面平行，且所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。

进一步地，所述圆环支架包括第一圆环支架、第二圆环支架和多个连接杆，所述第一圆环支架和所述第二圆环支架同轴设置，且所述连接杆的一端与所述第一圆环支架固定连接，所述连接杆的另一端与所述第二圆环支架固定连接。

进一步地，所述基底夹具位于所述第一圆环支架和所述第二圆环支架之间，所述基底夹具具有第一端和第二端，所述第一端通过转轴与所述第一圆环支架转动连接，所述第二端通过转轴与所述第二圆环支架转动连接。

进一步地，所述第二圆环支架的半径小于所述第一圆环支架的半径，且所述第二锥齿轮与所述基底夹具的第二端的转轴固定连接。

进一步地，所述基底夹具包括底板和用于固定基底的盖板，所述底板和所述盖板可拆卸连接，所述底板与所述圆环支架转动连接；

所述底板设有多个第一通孔，所述盖板设于多个与所述第一通孔对应的第二通孔，所述第一通孔的内径和所述第二通孔的内径相等，且所述第一通孔的内径小于所述基底的外径。

进一步地，所述底板和所述盖板通过螺栓连接。

进一步地，所述第一通孔靠近所述盖板的一端的内壁凹设有第一圆环槽，所述第二通孔靠近所述底板的一端的内壁凹设有第二圆环槽，所述第一圆环槽和所述第二圆环槽连通，以形成用于容置所述基底边缘的容置腔。

进一步地所述基底的一板面抵接于所述第一圆环槽的内壁，所述基底的另一板面抵接于所述第二圆环槽的内壁。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：