[实用新型]一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具

权利要求书

1.一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，其特征在于，包括圆环支架(1)、基底夹具(2)和电机(3)，所述圆环支架(1)与镀膜机真空腔(4)的内壁固定连接，所述基底夹具(2)与所述圆环支架转动连接，所述电机(3)的输出端设有第一锥齿轮(31)，所述第一锥齿轮(31)与所述圆环支架(1)同轴；所述基底夹具(2)的一端设有第二锥齿轮(21)，所述第二锥齿轮(21)的轴向与所述基底夹具(2)的载物面平行，且所述第一锥齿轮(31)和所述第二锥齿轮(21)啮合。

2.根据权利要求1所述的SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，其特征在于，所述圆环支架(1)包括第一圆环支架(11)、第二圆环支架(12)和多个连接杆(13)，所述第一圆环支架(11)和所述第二圆环支架(12)同轴设置，且所述连接杆(13)的一端与所述第一圆环支架(11)固定连接，所述连接杆(13)的另一端与所述第二圆环支架(12)固定连接。

3.根据权利要求2所述的SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，其特征在于，所述基底夹具(2)位于所述第一圆环支架(11)和所述第二圆环支架(12)之间，所述基底夹具(2)具有第一端和第二端，所述第一端通过转轴与所述第一圆环支架(11)转动连接，所述第二端通过转轴与所述第二圆环支架(12)转动连接。

4.根据权利要求3所述的SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，其特征在于，所述第二圆环支架(12)的半径小于所述第一圆环支架(11)的半径，且所述第二锥齿轮(21)与所述基底夹具(2)的第二端的转轴固定连接。

5.根据权利要求1所述的SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，其特征在于，所述基底夹具(2)包括底板(22)和用于固定基底(5)的盖板(23)，所述底板(22)和所述盖板(23)可拆卸连接，所述底板(22)与所述圆环支架(1)转动连接；

所述底板(22)设有多个第一通孔(221)，所述盖板(23)设于多个与所述第一通孔(221)对应的第二通孔(231)，所述第一通孔(221)的内径和所述第二通孔(231)的内径相等，且所述第一通孔(221)的内径小于所述基底(5)的外径。

6.根据权利要求5所述的SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，其特征在于，所述底板(22)和所述盖板(23)通过螺栓连接。

7.根据权利要求5所述的SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，其特征在于，所述第一通孔(221)靠近所述盖板(23)的一端的内壁凹设有第一圆环槽(222)，所述第二通孔(231)靠近所述底板(22)的一端的内壁凹设有第二圆环槽(232)，所述第一圆环槽(222)和所述第二圆环槽(232)连通，以形成用于容置所述基底(5)边缘的容置腔。

8.根据权利要求7所述的SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，其特征在于，所述基底(5)的一板面抵接于所述第一圆环槽(222)的内壁，所述基底(5)的另一板面抵接于所述第二圆环槽(232)的内壁。