[实用新型]一种晶圆电镀装置

权利要求书

1.一种晶圆电镀装置，其特征在于，包括：

电镀槽(1)，所述电镀槽(1)包括用于盛放电镀液的槽体；

电力线挡板(2)，所述电力线挡板(2)竖直放置在所述槽体的中间位置，所述电力线挡板(2)为圆形板，所述电力线挡板(2)上设有挡板通孔，所述电力线挡板(2)位于所述槽体的下半部分的两侧对称设有电镀遮挡部(21)，所述电镀遮挡部(21)为由遮挡直线和遮挡弧线围成的封闭区域，所述遮挡弧线与所述电力线挡板(2)相切，所述遮挡弧线与所述电力线挡板(2)的切线至所述遮挡直线的间距为2-4cm；

阳极材料板(3)，所述阳极材料板(3)靠近所述槽体一侧的内壁设置，所述阳极材料板(3)与所述电力线挡板(2)相对；

晶圆固定部，所述晶圆固定部靠近所述槽体的远离所述阳极材料板(3)的一侧的内壁设置，所述晶圆固定部用于将待电镀的晶圆(4)固定在与所述电力线挡板(2)相对的位置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述电镀遮挡部(21)上开设有遮挡部通孔，所述遮挡部通孔的孔径小于等于所述电力线挡板(2)的孔径。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述遮挡部通孔在所述电镀遮挡部(21)上均匀分布。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述遮挡部通孔的孔径为1-2mm。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述电镀遮挡部(21)为高温胶带。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述挡板通孔的孔径为2-4mm。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述电力线挡板(2)的直径与所述待电镀的晶圆(4)的直径一致。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述电力线挡板(2)的直径为20cm，所述电力线挡板(2)上均匀设有3000-4000个挡板通孔。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述电力线挡板(2)的厚度为5-20mm。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀装置，其特征在于，所述阳极材料板(3)为阳极铜板或阳极锡板。