[实用新型]显微镜的检测治具及包含其的显微镜装置

说明书

本实用新型提供一种显微镜的检测治具及包含其的显微镜装置。显微镜的检测治具包含致动模组及动力源。致动模组包含：致动件，用以接触待测物的表面以及驱使待测物相对于待测物的几何中心轴方向进行自体旋转运动；及承载件，其上设置有致动件动力源与致动件相互连接以驱动致动件转动。本实用新型的显微镜的检测治具可用于具有立体结构的待测物进行显微镜检测。

技术领域

本实用新型是有关一种显微镜的检测治具，特别是一种可用于检测具有立体结构的待测物的检测治具和及包括其的显微镜装置。

背景技术

一般来说，不论是在光学显微镜或是电子显微镜的检测过程中，为了使光束或带电粒子束穿透待测物以进行检测，常使用切割或辗磨等方法将待测样品制备为薄切片。然而，随着科技发展以及制程的演进，待检测物的种类及检测目的越趋广泛，可包含，例如：零组件完成品的整体结构、或超高精度陶瓷的细部结构等。在此情况下，若将待测样品制备为薄切片必然会造成样品的破坏与损毁，且由于待测物具有立体结构，故检测目标就不仅局限于二维平面。因此，有必要开发可适用于检测立体结构的显微镜检测治具。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种显微镜的检测治具及包含该检测治具的显微镜装置，其中，一种显微镜的检测治具，其可固定并旋转待测物，以供显微镜针对具有立体结构的待测物进行检测。

本实用新型一实施例的显微镜的检测治具包含：

一致动模组，致动模组包含：

致动件，用以接触一待测物的表面以及驱使待测物相对于待测物的几何中心轴方向进行自体旋转运动；及

承载件，其上设置有致动件；以及

一动力源，与致动件相互连接以驱动致动件转动。

较佳地，致动件可包含一第一滚轮元件，其设置于待测物下并与待测物的一外表面直接接触、承载待测物以及带动待测物进行自体旋转运动；

一支撑件，其相对于第一滚轮元件而设置于该待测物下并抵靠所述待测物的表面以支撑待测物。

较佳地，致动件可包含一对第二滚轮元件，成对的第二滚轮元件分别设置于待测物下、与待测物的一外表面直接接触以及带动待测物进行自体旋转运动。

较佳地，致动件可包含卷带，其绕设于待测物上以与待测物的一外表面接触，并且卷带带动待测物进行自体旋转运动。

较佳地，致动件与待测物的一外表面直接接触，并透过致动件与待测物的表面之间的摩擦力而驱使待测物进行自体旋转运动。

较佳地，本实用新型的显微镜的检测治具可更包含一辅助元件，其设置于待测物上以施加一外力于待测物上而增加致动件与待测物之间的摩擦力。

本实用新型的显微镜的检测治具可更包含一延伸件，其延伸设置于待测物上，致动件与延伸件直接接触，并透过致动件与延伸件之间的一摩擦力而驱使该待测物进行该自体旋转运动。

较佳地，致动件可包含一转轴，其插入待测物中并使待测物进行自体旋转运动。

较佳地，本实用新型的显微镜的检测治具所包含的动力源可透过连接件与致动件相互连接，连接件可包含万向接头、连杆或齿轮组。

较佳地，本实用新型的显微镜的检测治具更包含一限位元件，其设置于待测物上以保持或改变待测物的几何中心轴方向。

较佳地，限位元件可为一夹具，其夹持待测物以保持或改变待测物的几何中心轴方向。

较佳地，本实用新型的显微镜的检测治具更包含一限位元件，其插入待测物中以固定或改变待测物的几何中心轴方向。

较佳地，承载件可沿着其X轴方向、Y轴方向及Z轴方向的至少其中的一方向移动。