[实用新型]显微镜的检测治具及包含其的显微镜装置

权利要求书

1.一种显微镜的检测治具，其特征在于，所述显微镜的检测治具包含：

一致动模组，其包含：

一致动件，其接触一待测物的表面以及驱使所述待测物相对于所述待测物的一几何中心轴方向进行一自体旋转运动；及

一承载件，其上设置有所述致动件；以及

一动力源，与所述致动件相互连接以驱动所述致动件运动。

2.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述致动件包含：

一第一滚轮元件，其与所述待测物的一外表面接触、承载所述待测物以及带动所述待测物进行所述自体旋转运动；以及

一支撑件，其抵靠所述待测物的所述表面以支撑所述待测物；或

一对第二滚轮元件，成对的所述第二滚轮元件分别设置于所述待测物下、与所述待测物的一外表面接触以及带动所述待测物进行所述自体旋转运动；或

一卷带，其绕设于所述待测物上以与所述待测物的一外表面接触，并且所述卷带带动所述待测物进行所述自体旋转运动；或

一转轴，其插入所述待测物中并使所述待测物进行所述自体旋转运动。

3.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述致动件与所述待测物的一外表面直接接触，并透过所述致动件与所述待测物的表面之间的一摩擦力而驱使所述待测物进行所述自体旋转运动。

4.根据权利要求3所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述显微镜的检测治具更包含一辅助元件，其设置于所述待测物上以施加一外力于所述待测物上而增加所述致动件与所述待测物之间的所述摩擦力。

5.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述显微镜的检测治具更包含一延伸件，其延伸设置于所述待测物上，所述致动件与所述延伸件直接接触，并透过所述致动件与所述延伸件之间的一摩擦力而驱使所述待测物进行所述自体旋转运动。

6.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述动力源透过一连接件与所述致动件相互连接，所述连接件包含一万向接头、一连杆或一齿轮组。

7.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述显微镜的检测治具更包含一限位元件，所述限位元件设置于所述待测物上以保持或改变所述待测物的所述几何中心轴方向；或，所述限位元件为一夹具，其夹持所述待测物以保持或改变所述待测物的所述几何中心轴方向；或，所述限位元件插入所述待测物中以固定或改变所述待测物的所述几何中心轴方向。

8.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述承载件沿着其X轴方向、Y轴方向及Z轴方向的至少其中的一方向移动。

9.一种显微镜装置，其特征在于，所述显微镜装置包含：

一发射组件，包含一发射源及一透镜组件；

一检测治具，其包含：

一致动模组，其包含一致动件及承载所述致动件的一承载件，所述致动件接触一待测物的表面并驱使所述待测物相对于所述待测物的一几何中心轴方向进行一自体旋转运动；及

一动力源，与所述致动件相互连接以驱动所述致动件运动；以及

一真空腔体，所述检测治具设置于其中；

其中，所述发射源发射一能量源，所述透镜组件将所述能量源导向所述待测物。

10.根据权利要求9所述的显微镜装置，其特征在于，所述显微镜装置更包括控制所述发射组件的运作的一控制系统以及一与所述控制系统电性连接的信号侦测系统，其中所述信号侦测系统侦测所述能量源和所述待测物干涉后得到的一信号并传送所述信号到所述控制系统。