[实用新型]一种便于维护的光刻机

说明书

本实用新型公开了一种便于维护的光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体正表面的两侧均通过铰链转动连接有柜门，所述光刻机本体正表面的两侧均固定连接有固定结构。本实用新型通过固定结构起到了对柜门的固定和释放，进行使用六角扳手操作固定结构，将柜门进行释放，即可将柜门开启，该便于维护的光刻机具备方便启闭的优点，在使用过程中能够使用结构小巧，精密的部件进行传动，进而对柜门进行限位，能够有效的取代螺栓的作用，同时不与发生锈蚀，使用寿命长，提高了光刻机的实用性，解决了现有的光刻机在使用过程中，大多没有设置专门的维护窗口，不利于工作人员进行维护的问题。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种便于维护的光刻机。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序光刻的意思是用光来制作一个图形(工艺)；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，因此光刻机的价格昂贵，且内部电子元件非常精密和脆弱，需要经常进行维护，现有的光刻机在使用过程中，大多没有设置专门的维护窗口，不利于工作人员进行维护，降低了光刻机的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于维护的光刻机，具备方便启闭的优点，解决了现有的光刻机在使用过程中，大多没有设置专门的维护窗口，不利于工作人员进行维护的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于维护的光刻机，包括光刻机本体，所述光刻机本体正表面的两侧均通过铰链转动连接有柜门，所述光刻机本体正表面的两侧均固定连接有固定结构，所述光刻机本体正表面的两侧均开设有与固定结构相适配的凹槽，所述柜门的一侧开设有与固定结构相适配的矩形通孔。

优选的，所述固定结构包含有与光刻机本体固定连接的壳体，所述壳体内腔的左侧固定连接有固定架，所述固定架的内腔通过轴承转动连接有转动块，所述转动块的一侧固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆远离转动块的一端通过轴承与壳体转动连接，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的顶部和底部均固定连接有楔形块一，所述楔形块一的表面活动连接有楔形块二，所述楔形块二的一侧固定连接有卡块，所述矩形通孔内腔的顶部和底部均开设有卡槽，所述卡块远离楔形块二的一端贯穿至卡槽的内腔，所述卡块的表面设置有弹簧，所述弹簧的一端与壳体固定连接，所述弹簧的另一端与楔形块二固定连接。

优选的，所述壳体内腔右侧的顶部和底部均固定连接有限位结构，所述限位结构包含有与壳体固定连接的限位板，所述限位板的一侧开设有T形槽，所述T形槽的内腔活动连接有T形块，所述T形块的一侧与楔形块二固定连接。

优选的，所述螺纹杆表面的两侧均固定连接有挡板，所述挡板的形状为圆形。

优选的，所述转动块的一侧开设有传动槽，所述传动槽的形状为六边形。

优选的，所述柜门的正表面固定连接有把手，所述把手的表面设置有防滑纹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过固定结构起到了对柜门的固定和释放，进行使用六角扳手操作固定结构，将柜门进行释放，即可将柜门开启，该便于维护的光刻机具备方便启闭的优点，在使用过程中能够使用结构小巧，精密的部件进行传动，进而对柜门进行限位，能够有效的取代螺栓的作用，同时不与发生锈蚀，使用寿命长，提高了光刻机的实用性，解决了现有的光刻机在使用过程中，大多没有设置专门的维护窗口，不利于工作人员进行维护的问题。