[实用新型]一种便于维护的光刻机

权利要求书

1.一种便于维护的光刻机，包括光刻机本体(1)，其特征在于：所述光刻机本体(1)正表面的两侧均通过铰链转动连接有柜门(2)，所述光刻机本体(1)正表面的两侧均固定连接有固定结构(3)，所述光刻机本体(1)正表面的两侧均开设有与固定结构(3)相适配的凹槽(4)，所述柜门(2)的一侧开设有与固定结构(3)相适配的矩形通孔(5)。

2.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述固定结构(3)包含有与光刻机本体(1)固定连接的壳体(301)，所述壳体(301)内腔的左侧固定连接有固定架(302)，所述固定架(302)的内腔通过轴承转动连接有转动块(303)，所述转动块(303)的一侧固定连接有螺纹杆(304)，所述螺纹杆(304)远离转动块(303)的一端通过轴承与壳体(301)转动连接，所述螺纹杆(304)的表面螺纹连接有螺纹套(305)，所述螺纹套(305)的顶部和底部均固定连接有楔形块一(306)，所述楔形块一(306)的表面活动连接有楔形块二(307)，所述楔形块二(307)的一侧固定连接有卡块(308)，所述矩形通孔(5)内腔的顶部和底部均开设有卡槽(309)，所述卡块(308)远离楔形块二(307)的一端贯穿至卡槽(309)的内腔，所述卡块(308)的表面设置有弹簧(310)，所述弹簧(310)的一端与壳体(301)固定连接，所述弹簧(310)的另一端与楔形块二(307)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述壳体(301)内腔右侧的顶部和底部均固定连接有限位结构(311)，所述限位结构(311)包含有与壳体(301)固定连接的限位板(3111)，所述限位板(3111)的一侧开设有T形槽(3112)，所述T形槽(3112)的内腔活动连接有T形块(3113)，所述T形块(3113)的一侧与楔形块二(307)固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述螺纹杆(304)表面的两侧均固定连接有挡板(312)，所述挡板(312)的形状为圆形。

5.根据权利要求2所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述转动块(303)的一侧开设有传动槽(313)，所述传动槽(313)的形状为六边形。

6.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述柜门(2)的正表面固定连接有把手(6)，所述把手(6)的表面设置有防滑纹。